[發明專利]一種柔性電容式濕度傳感器及其制備方法

在審

• 申請號: 201510512310.6
• 申請日: 2015-08-19
• 公開（公告）號: CN105067682A
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發明（設計）人: 聶萌;章丹;黃慶安
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01N27/22
• 分類號: G01N27/22;B81C1/00
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249
• 代理人: 楊曉玲

1.一種柔性電容式濕度傳感器，其特征在于，該濕度傳感器包括柔性襯底（1）、第一金屬電極板（2）、氧化石墨烯薄膜層（3）和第二金屬電極板（4），其中，第一金屬電極板（2）和第二金屬電極板（4）分別固定連接在柔性襯底（1）的頂面；氧化石墨烯薄膜層（3）填充在第一金屬電極板（2）和第二金屬電極板（4）之間的空隙中，且覆蓋在第一金屬電極板（2）的頂面和第二金屬電極板（4）的頂面。

2.按照權利要求1所述的柔性電容式濕度傳感器，其特征在于，所述的第一金屬電極板（2）和第二金屬電極板（4）分別位于柔性襯底（1）頂面的兩端。

3.按照權利要求1所述的柔性電容式濕度傳感器，其特征在于，所述的氧化石墨烯薄膜層（3）覆蓋在第一金屬電極板（2）的部分頂面和第二金屬電極板（4）的部分頂面。

4.按照權利要求1所述的柔性電容式濕度傳感器，其特征在于，所述的柔性襯底（1）由LCP制成。

5.按照權利要求1所述的柔性電容式濕度傳感器，其特征在于，所述的第一金屬電極板（2）和第二金屬電極板（4）通過腐蝕金屬薄層的方法制成。

6.一種權利要求1所述的柔性電容式濕度傳感器的制備方法，其特征在于，該制備方法包括以下步驟：

第一步：在單面覆有金屬薄層（6）的柔性襯底（1）的兩端分別涂上光刻膠（7）；

第二步：對未被光刻膠（7）覆蓋的金屬薄層（6）進行腐蝕，位于光刻膠（7）下方的金屬薄層（6）分別構成第一金屬電極板（2）和第二金屬電極板（4）；

第三步：去除光刻膠（7）；

第四步：在第一金屬電極板（2）的頂面和第二金屬電極板（4）的頂面分別貼上膠布（5）；

第五步：在柔性襯底（1）、第一金屬電極板（2）、第二金屬電極板（4）和膠布（5）的表面旋涂氧化石墨烯，構成氧化石墨烯層（8）；

第六步：撕去膠布（5）及位于膠布（5）上方的氧化石墨烯層（8），剩下的氧化石墨烯層（8）構成氧化石墨烯薄膜層（3），從而制成濕度傳感器。

7.按照權利要求6所述的柔性電容式濕度傳感器的制備方法，其特征在于，所述的第一步中，柔性襯底（1）由LCP制成。

8.按照權利要求6所述的柔性電容式濕度傳感器的制備方法，其特征在于，所述的第四步中，膠布（5）分別覆蓋第一金屬電極板（2）的部分頂面和第二金屬電極板（4）的部分頂面。