[發(fā)明專利]一種石墨烯?ZnxAg（1?x）NyO（1?y）紫外探測(cè)器及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510496622.2
• 申請(qǐng)日: 2015-08-13
• 公開（公告）號(hào): CN105140332B
• 公開（公告）日: 2017-01-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 段理;于曉晨;樊繼斌;田野;何鳳妮;程曉姣
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)安大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L31/101
• 分類號(hào): H01L31/101;H01L31/0256;H01L31/18
• 代理公司: 西安恒泰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所61216
• 代理人: 李鄭建,孫雅靜

1.一種石墨烯-Zn_xAg_(1-x)N_yO_(1-y)紫外探測(cè)器，該紫外探測(cè)器為光電導(dǎo)型紫外探測(cè)器，光電導(dǎo)型紫外探測(cè)器包括設(shè)置在基底上的光敏層和電極，其特征在于，所述的光敏層中含有石墨烯和Zn_xAg_(1-x)N_yO_(1-y)，按摩爾比計(jì)，x＝0.40～0.99，y＝0.01～0.60。

2.如權(quán)利要求1所述的石墨烯-Zn_xAg_(1-x)N_yO_(1-y)紫外探測(cè)器，其特征在于，按摩爾比計(jì)，石墨烯中碳原子與Zn_xAg_(1-x)N_yO_(1-y)中鋅原子加銀原子之和的比為(1～10):(10～1)。

3.如權(quán)利要求1或2所述的石墨烯-Zn_xAg_(1-x)N_yO_(1-y)紫外探測(cè)器，其特征在于，所述光敏層的基底為玻璃，所述的電極為Au/Ti電極。

4.制備權(quán)利要求1、2或3所述的石墨烯-Zn_xAg_(1-x)N_yO_(1-y)紫外探測(cè)器的方法，其特征在于，包括將石墨烯與含鋅化合物、含銀化合物和含氮化合物的混合溶液通過溶膠凝膠法制備成膠體，膠體旋涂于基體上后經(jīng)熱處理和紫外臭氧聯(lián)合處理，再通過共濺射制備電極即得石墨烯-Zn_xAg_(1-x)N_yO_(1-y)紫外探測(cè)器。

5.如權(quán)利要求4所述的制備石墨烯-Zn_xAg_(1-x)N_yO_(1-y)紫外探測(cè)器的方法，其特征在于，所述的含鋅化合物為乙酸鋅，含銀化合物為硝酸銀，含氮化合物為乙酸銨；

混合溶液中乙酸鋅的濃度為0.01mol/L、硝酸銀的濃度為0.001～0.01mol/L和乙酸銨的濃度為0.01～0.1mol/L；

膠體中含有石墨烯的碳原子的濃度為0.001～0.1mol/L。

6.如權(quán)利要求4所述的制備石墨烯-Zn_xAg_(1-x)N_yO_(1-y)紫外探測(cè)器的方法，其特征在于，所述的熱處理包括將旋涂膠體的玻璃在氬氣氛圍下進(jìn)行400℃熱處理；所述的紫外臭氧聯(lián)合處理包括將熱處理后的旋涂膠體的玻璃置于臭氧氛圍中254nm紫外輻射處理；

所述的共濺射包括將紫外聯(lián)合臭氧處理后的帶有膠體的玻璃利用Au靶和Ti鈀在氬氣氛圍及氣壓20Pa的條件下制備Au/Ti電極。

7.如權(quán)利要求4所述的制備石墨烯-Zn_xAg_(1-x)N_yO_(1-y)紫外探測(cè)器的方法，其特征在于，所述的石墨烯的制備方法包括配制50g/L石墨粉末和20g/L高錳酸鉀的濃硫酸混合溶液，將混合溶液依次在10℃、30℃和90℃下各攪拌1小時(shí)后加入等體積的質(zhì)量濃度為30％的雙氧水，靜置后將沉淀物烘干并在1000℃和氬氣下熱處理得到石墨烯粉末。