[發明專利]用于制造生物傳感器的微阱的方法有效
| 申請號： | 201510495959.1 | 申請日： | 2015-08-13 |
| 公開（公告）號： | CN105977282B | 公開（公告）日： | 2019-03-22 |
| 發明（設計）人： | 張哲銘;詹志仁;周仲彥;曾李全;林詩瑋;謝元智 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/06 | 分類號： | H01L29/06;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知識產權代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李偉 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 制造 生物 傳感器 方法 | ||
【權利要求書】：
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