[發明專利]一種固體氧化物表面結構的測定方法

有效

• 申請號: 201510482145.4
• 申請日: 2015-08-07
• 公開（公告）號: CN105241910B
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發明（設計）人: 彭路明;陳蓉;沈麗;劉瀟;陳俊超;曹坤;單斌
• 申請（專利權）人: 南京大學;華中科技大學
• 主分類號: G01N24/08
• 分類號: G01N24/08;G01N1/28
• 代理公司: 南京知識律師事務所32207
• 代理人: 黃嘉棟

1.一種固體氧化物表面結構的測定方法，其特征是包括如下步驟：

步驟1：將氧化物樣品經過焙燒處理，使其表面吸附物種脫附；

步驟2：將步驟1中處理好的樣品置于原子層沉積的反應腔中，根據氧化物的性質設置沉積溫度，沉積過程分兩個半反應：第一步是前驅體脈沖進入反應腔，在氧化物表面化學吸附進行第一個半反應，接著除去多余的前驅體；第二步是¹⁷O同位素標記的H₂¹⁷O脈沖進入反應腔，進行第二個半反應，生成¹⁷O同位素標記的氧化物；

步驟3：將步驟2得到的氧化物裝入轉子，用¹⁷O固體核磁共振譜學表征，根據¹⁷O固體核磁共振譜判斷固體氧化物表面結構。

2.一種金屬本身具有核磁共振可觀測性的固體氧化物表面結構的測定方法，其特征是它包括如下步驟：

步驟1：將和需要表征的氧化物樣品具有類似結構的襯底進行焙燒處理，使其表面吸附物種脫附；

步驟2：將步驟1中處理好的襯底置于原子層沉積的反應腔中，根據需表征的氧化物的性質設置沉積溫度，沉積過程分兩個半反應：第一步是使需表征的氧化物的金屬的前驅體脈沖進入反應腔，在氧化物表面化學吸附進行第一個半反應，接著除去多余的前驅體；第二步是將H₂O脈沖進入反應腔，進行第二個半反應，生成需表征的氧化物；

步驟3：將步驟2得到的沉積于襯底的氧化物裝入轉子，用固體核磁共振譜學表征，根據金屬固體核磁共振譜判斷固體氧化物表面結構。