[發明專利]一種基于MEMS的可調紅外濾波器

有效

• 申請號: 201510469697.1
• 申請日: 2015-08-04
• 公開（公告）號: CN105022158B
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: 張忠祥
• 申請（專利權）人: 深圳力策科技有限公司
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00
• 代理公司: 深圳市中科創為專利代理有限公司44384
• 代理人: 高早紅,謝亮

1.一種基于MEMS的可調紅外濾波器，集成了MEMS可調機械結構與表面等離子體共振單元，其特征在于：

表面等離子體共振單元為由上下兩層金屬結構組成的雙層金屬結構，其中，雙層金屬結構的上層和下層分別設置有互補圖案形狀的上耦合層和下耦合層，互補圖案的上耦合層和下耦合層具有相同的幾何參數；

并且，MEMS可調機械結構設置有用于支撐上耦合層的可動平行支撐板和用于設置下耦合層的下層襯底，可動平行支撐板與下層襯底相連；

并且，可動平行支撐板上設有金屬電極；下層襯底包括底材和金屬膜；并且，金屬膜上設置有金屬孔洞結構。

2.根據權利要求1所述的基于MEMS的可調紅外濾波器，其特征在于：可動平行支撐板通過柱體或者自身結構與下層襯底相連。

3.根據權利要求1所述的基于MEMS的可調紅外濾波器，其特征在于：其工作波段為0.7um至3000um之間。

4.根據權利要求1所述的基于MEMS的可調紅外濾波器，其特征在于：上耦合層和下耦合層的互補圖案形狀為十字形、或圓形，并且，上下耦合層設置為頻率選擇平面、或超材料金屬諧振環。

5.根據權利要求4所述的基于MEMS的可調紅外濾波器，其特征在于：雙層金屬結構的大小或排布周期為紅外濾波器工作范圍的中心波長，互補圖案形狀的上下耦合層的尺寸小于紅外濾波器工作范圍的中心波長，并且，上下耦合層的距離小于中心波長的四分之一。

6.根據權利要求1所述的基于MEMS的可調紅外濾波器，其特征在于：上下層耦合距離調節結構設置為采用金屬材料或者陶瓷材料制成的柱體，并且，MEMS可調機械結構設置為柱體錨、或微懸梁臂。

7.根據權利要求1所述的基于MEMS的可調紅外濾波器，其特征在于：底材的制作材料設置為亞克力膠、或石英、或玻璃、或硅(Si)、或砷化鎵(GaAs)、或磷化銦(InP)、或聚酰亞胺。

8.據權利要求1-7任一所述的基于MEMS的可調紅外濾波器，其特征在于：可動平行支撐板通過柱體或者自身結構與下層襯底相連，并懸空設置在下層襯底上方。