[發明專利]硅塊檢測用的卡盤裝置

在審

• 申請號: 201510464959.5
• 申請日: 2015-07-31
• 公開（公告）號: CN105067521A
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發明（設計）人: 楊紅
• 申請（專利權）人: 江蘇奧能光電科技有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/88
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 陸華君

技術領域

本申請屬于硅塊檢測技術領域，特別是涉及一種可以輔助紅外探傷儀檢測到硅塊頂底部缺陷的卡盤裝置。

背景技術

參圖1所示，現有硅塊紅外探傷儀11只能探測垂直于相機12的硅塊13四個面，其具有如下缺點：

(1)、經探傷儀檢測完后的硅塊，通過截斷工序把檢測出來的雜質截去，由于硅塊內部多晶方向的隨意性，會有雜質殘余包含在其中，特別是硅的氮化物和碳化物，它們會導致線切割的斷線或所切硅片中有大量雜質不良品，大大提高了生產成本；

(2)、現有的紅外探傷設備只能檢測垂直于相機的硅塊四個面，無法將硅塊橫向放置，使其檢測到硅塊頂部和底部；

(3)、機器配置的卡盤表面由四個螺釘固定，無法把硅塊橫放置。

發明內容

本發明的目的在于提供一種硅塊檢測用的卡盤裝置，以克服現有技術中的不足。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

本申請實施例公開了一種硅塊檢測用的卡盤裝置，所述卡盤的頂面凹設形成有凹槽，所述卡盤裝置的頂端安裝有硅塊固定裝置，所述硅塊固定裝置包括上下依次連接的硅膠層、支撐板和凸塊，所述凸塊的外形尺寸與所述凹槽匹配，所述凸塊可拆卸卡持于所述凹槽內。

優選的，在上述的硅塊檢測用的卡盤裝置中，所述凸塊為環形的凸塊。

優選的，在上述的硅塊檢測用的卡盤裝置中，所述環形凸塊的尺寸為158*158mm，所述環形凸塊的寬度為3mm，高度為3mm。

優選的，在上述的硅塊檢測用的卡盤裝置中，所述支撐板和/或凸塊的材質為PE或PVC。

優選的，在上述的硅塊檢測用的卡盤裝置中，所述硅膠層的厚度為6mm。

本發明所提供的檢測硅塊頂底部的卡盤用裝置具有以下優點：

(1)、支撐板和環狀凸塊的材質采用PE或PVC板構成，大大降低了生產成本；

(2)、操作起來方便快捷，提高了生產效率；

(3)、該裝置雖然成本廉價，但是由于其材質具有彈性，很大程度上減少了硅塊因雜質而出現的不良品，為工序節約了成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本申請實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請中記載的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1所示為現有技術中硅塊探測裝置的示意圖；

圖2所示為本發明具體實施例中硅塊固定裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行詳細的描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。

參圖2所示，硅塊檢測用的卡盤裝置，卡盤的頂面凹設形成有凹槽，卡盤裝置的頂端安裝有硅塊固定裝置，硅塊固定裝置包括上下依次連接的硅膠層21、支撐板22和凸塊23，凸塊23的外形尺寸與凹槽匹配，凸塊23可拆卸卡持于凹槽內。

在該技術方案中，硅膠皮因其具有較好的吸附性，可對硅塊起到定位作用，同時硅膠皮可以在卡盤原地旋轉時起到阻止硅塊發生位錯的現象，硅塊可以在硅膠皮上擺放成各種角度進行測量，不受卡盤尺寸的限制；環狀凸塊通過扣合的方式嵌在卡盤凹槽內，便于裝置安裝和拆卸，使用戶根據需要，決定是否使用檢測硅塊頂底部的卡盤用裝置，使用方便。

進一步地，凸塊23為環形的凸塊。環形凸塊的尺寸為158*158mm，環形凸塊的寬度為3mm，高度為3mm。

在其他實施例中，凸塊23還可以為實心的矩形體。

進一步地，支撐板和/或凸塊的材質為PE或PVC。硅膠層的厚度為6mm。

在該技術方案中，支撐板和環狀凸塊的材質采用PE或PVC板構成，大大降低了生產成本