[發(fā)明專利]掠入射型微孔x射線光學(xué)元件的熱彎裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510446961.X
• 申請日: 2015-07-27
• 公開（公告）號: CN105110610B
• 公開（公告）日: 2017-08-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張?jiān)婗H;金戈;毛漢祺;孫建寧;胡松;李婧雯;張智勇;宋淳
• 申請（專利權(quán)）人: 北方夜視技術(shù)股份有限公司
• 主分類號: C03B23/03
• 分類號: C03B23/03
• 代理公司: 南京理工大學(xué)專利中心32203
• 代理人: 朱顯國,王培松

1.一種掠入射型微孔x射線光學(xué)元件的熱彎裝置，其特征在于，包括真空加熱爐、真空泵、控制柜、壓力控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)以及熱彎模具機(jī)構(gòu)，其中：

熱彎模具機(jī)構(gòu)安置在真空加熱爐的內(nèi)部等溫區(qū)內(nèi)；

壓力控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)位于真空加熱爐的正上方，通過開口波紋管與真空加熱爐相連接，壓力控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)輸出的壓力通過熱彎模具機(jī)構(gòu)施加到裝載在熱彎模具機(jī)構(gòu)內(nèi)的光學(xué)元件上；

真空泵通過真空管路與真空加熱爐相連接；

所述控制柜用于熱彎裝置的壓力、溫度和真空度控制，其具有一個(gè)工控機(jī)，控制壓力控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)、真空加熱爐以及真空泵的運(yùn)行：熱彎裝置工作時(shí)，通過真空泵保持真空加熱爐的等溫區(qū)腔體內(nèi)的真空度；真空加熱爐在控制柜設(shè)定的溫度區(qū)間范圍內(nèi)保持其等溫區(qū)的溫度；以及通過壓力控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)的運(yùn)行使壓力經(jīng)由熱彎模具機(jī)構(gòu)施加到光學(xué)元件上來熱彎光學(xué)元件；

前述壓力控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括：電機(jī)、減速器、連桿、絲杠以及壓塊，其中：

電機(jī)與控制柜電連接，接收控制柜發(fā)出的控制信號而通過電機(jī)輸出軸輸出旋轉(zhuǎn)扭矩；

減速器的輸入端與電機(jī)輸出軸連接，其輸出端與連桿連接；

連桿將減速器輸出的旋轉(zhuǎn)扭矩傳遞到絲杠上，使得絲杠運(yùn)動；

絲杠的臨近真空加熱爐的端頭與所述壓塊固定，壓塊與絲杠同步運(yùn)動；

壓塊的另一端與熱彎模具機(jī)構(gòu)連接，以將絲杠運(yùn)動產(chǎn)生壓力傳遞至熱彎模具機(jī)構(gòu)；

前述熱彎模具機(jī)構(gòu)包括：底座、熱彎模具、定位圈、下連桿以及上連桿，所述熱彎模具可拆卸地安裝在底座的定位槽內(nèi)，熱彎模具由上模具和下模具構(gòu)成，其中：

底座安置在真空加熱爐的內(nèi)部等溫區(qū)內(nèi)，熱彎模具安裝在底座的定位槽內(nèi)，定位圈安裝在熱彎模具上以固定熱彎模具的上模具和下模具；

下連桿與定位圈緊固配合，設(shè)置在上模具的上方；

上連桿的一端通過螺紋與下連桿連接，其另一端與所述壓力控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)的壓塊相連接；

上模具的底部具有一定弧度，下模具所形成的模具腔底部具有與上模具底部配套的弧度；

通過所述壓塊而傳遞的壓力依次經(jīng)由上連桿、下連桿施加到熱彎模具上，進(jìn)而使得裝載在熱彎模具的上模具與下模具之間的光學(xué)元件由平板變成球面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掠入射型微孔x射線光學(xué)元件的熱彎裝置，其特征在于，所述壓力控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)的壓塊具有一中心孔，所述熱彎模具機(jī)構(gòu)的上連桿的另一端通過該中心孔與壓塊緊固連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掠入射型微孔x射線光學(xué)元件的熱彎裝置，其特征在于，所述熱彎模具的材料為不銹鋼，其線膨脹系數(shù)在30×10^-7～90×10^-7/℃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掠入射型微孔x射線光學(xué)元件的熱彎裝置，其特征在于，所述真空泵為無油真空泵，且真空度優(yōu)于1×10^-2mbar。