[發明專利]物理量傳感器、壓力傳感器、高度計、電子設備以及移動體

在審

• 申請號: 201510440983.5
• 申請日: 2015-07-24
• 公開（公告）號: CN105314586A
• 公開（公告）日: 2016-02-10
• 發明（設計）人: 林和也
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;B81B7/00;B81B7/02;G01L9/06
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 蘇萌萌;許梅鈺

1.一種物理量傳感器，其特征在于，具有：

基板，其具有在所述基板的一面側開口的凹部；

隔膜部，其包括所述凹部的底部，并通過受壓而發生撓曲變形；

傳感器元件，其被配置于所述隔膜部上；

臺階部，其在所述基板的另一面側沿所述隔膜部的外周而被配置，并相對于所述隔膜部而向所述隔膜部的厚度方向突出，而且突出量小于所述凹部的深度。

2.如權利要求1所述的物理量傳感器，其中，

所述隔膜部的所述一面側的面為受壓面。

3.如權利要求1所述的物理量傳感器，其中，

所述傳感器元件被配置于，與所述隔膜部的厚度方向的中心相比靠所述另一面側的位置處。

4.如權利要求3所述的物理量傳感器，其中，

所述傳感器元件被配置于，與所述隔膜部的中心相比靠所述臺階部側的位置處。

5.如權利要求1所述的物理量傳感器，其中，

所述臺階部由不同于所述基板的另一層構成。

6.如權利要求1所述的物理量傳感器，其中，

所述另一層含有多晶硅。

7.如權利要求5所述的物理量傳感器，其中，

具有配置于所述基板的所述另一面側的壓力基準室。

8.如權利要求7所述的物理量傳感器，其中，

所述壓力基準室的側壁部與所述另一層連接。

9.如權利要求1所述的物理量傳感器，其中，

所述臺階部的突出量處于0.1μm以上380μm以下的范圍內。

10.如權利要求1所述的物理量傳感器，其中，

所述隔膜部的厚度處于1μm以上8μm以下的范圍內。

11.如權利要求1所述的物理量傳感器，其中，

所述臺階部處于，以所述隔膜部的外周緣為基準而朝向所述隔膜部的中心側偏移-5μm以上15μm以下的范圍內。

12.如權利要求1所述的物理量傳感器，其中，

所述隔膜部的寬度處于50μm以上300μm以下的范圍內。

13.一種壓力傳感器，其特征在于，

具有權利要求1所述的物理量傳感器。

14.一種高度計，其特征在于，

具有權利要求1所述的物理量傳感器。

15.一種電子設備，其特征在于，

具有權利要求1所述的物理量傳感器。

16.一種移動體，其特征在于，

具有權利要求1所述的物理量傳感器。