[發明專利]常溫多層ITO柔性基材單鼓立式連續氣相沉積設備系統有效
| 申請號： | 201510430778.0 | 申請日： | 2015-07-21 |
| 公開（公告）號： | CN105887014B | 公開（公告）日： | 2019-02-19 |
| 發明（設計）人： | 莊志杰;周鈞;劉戰合 | 申請（專利權）人： | 賽柏利安工業技術（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/08 | 分類號： | C23C14/08;C23C14/56 |
| 代理公司： | 江蘇銀創律師事務所 32242 | 代理人： | 王紀營 |
| 地址： | 上海市普陀區中江*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 常溫 多層 ito 柔性 基材 立式 連續 沉積 設備 系統 | ||
【權利要求書】：
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