[發明專利]生產系統

有效

• 申請號: 201510430268.3
• 申請日: 2015-07-21
• 公開（公告）號: CN105320055B
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: 倉田茂
• 申請（專利權）人: 日本電產三協株式會社
• 主分類號: G05B19/05
• 分類號: G05B19/05
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100
• 代理人: 沈捷

技術領域

本發明涉及一種生產系統，該生產系統通過多個處理裝置對處理對象物實施規定的處理來生產多種產品。

背景技術

以往，公知了對處理對象物實施規定的處理來生產半導體等產品的生產系統(例如，參照專利文獻1)。專利文獻1中所記載的生產系統具有存放處理對象物的托架和對處理對象物進行處理的多個制造裝置。托架具有存儲有與所生產的產品相應的信息的標識碼托架。各制造裝置具有標識碼讀寫裝置，所述標識碼讀寫裝置對存儲在標識碼托架中的信息進行讀取和更新，并且，在各制造裝置中存儲有工序工藝(recipe)對應表和登記工藝組。工序工藝對應表為登記有工序流程標識碼號、工序號、工藝以及下一工序號的表格。

在專利文獻1所記載的生產系統中，當托架被搬進制造裝置時，標識碼讀寫裝置讀取存儲在標識碼托架中的工序流程標識碼號以及工序號。并且，在該生產系統中，利用工序工藝對應表，檢索與標識碼讀寫裝置所讀取的工序流程標識碼號以及工序號對應的工藝，并對處理對象物實施與登記在工序工藝對應表中的工藝相應的處理。

專利文獻1：日本特開平11-53439號公報

在專利文獻1所記載的生產系統中，由于存儲有多個制造裝置各自的工序工藝對應表，因此在利用該生產系統生產新種類的產品時或處理對象物的處理條件變更時(也就是說，在追加新的生產工序流程時或生產工序流程變更時)，必須對所有的制造裝置變更工序工藝對應表。因此，在該生產系統中，在生產新種類的產品時和處理對象物的處理條件變更時的變更操作變得復雜。

發明內容

因此，本發明的課題在于提供一種對處理對象物實施規定的處理從而生產多種產品的生產系統，其能夠在生產新種類的產品時或處理對象物的處理條件變更時容易地實施變更操作。

為了解決上述課題，本發明的生產系統對處理對象物實施規定的處理，從而生產多種產品，其特征在于，所述生產系統包括：主機，所述主機存儲有與用于生產多種產品中的每一種產品的處理對象物的多個處理條件分別對應的多個主工藝號；多個處理裝置，多個所述處理裝置對處理對象物實施處理；中繼機，所述中繼機通過網絡與主機連接，并通過網絡與多個處理裝置連接；以及托架，所述托架存放處理對象物，在托架中存儲有用于識別托架的托架標識碼，主工藝號與托架標識碼對應，每一個處理裝置對處理對象物的處理條件、即多個裝置工藝與用于識別多個裝置工藝的裝置工藝號對應并被存儲于多個處理裝置中的每一個當中，在中繼機中存儲有對應表，所述對應表規定分別與多個主工藝號對應的多個處理裝置各自的裝置工藝號，如果將對處理對象物實施首次處理的處理裝置設為第一處理裝置，則第一處理裝置在托架被搬進所述第一處理裝置時讀取托架標識碼，并通過中繼機將已讀取的托架標識碼發送到主機，已收到托架標識碼的主機通過中繼機將與已收到的托架標識碼對應的主工藝號發送到第一處理裝置，已收到主工藝號的第一處理裝置將所收到的主工藝號再次發送到中繼機，已收到主工藝號的中繼機將與已收到的主工藝號對應的第一處理裝置用的裝置工藝號發送到第一處理裝置，第一處理裝置利用與已收到的裝置工藝號對應的裝置工藝，對處理對象物實施處理，在對處理對象物的處理結束時，將處理對象物以及主工藝號移交到對處理對象物實施第二次處理的處理裝置中，如果將n設為2以上的整數，并將對處理對象物實施第n次處理的處理裝置設為第n處理裝置，則第n處理裝置從第n-1處理裝置中獲取處理對象物以及主工藝號，并將已獲取的主工藝號發送到中繼機，已收到來自第n處理裝置的主工藝號的中繼機將與已收到的主工藝號對應的第n處理裝置用的裝置工藝號發送到第n處理裝置，第n處理裝置利用與已收到的裝置工藝號對應的裝置工藝，對處理對象物實施處理，并在對處理對象物的處理結束時，將處理對象物以及主工藝號移交到第n+1處理裝置。