[發明專利]電極裝置以及給電解蝕刻被加工板上電的方法

有效

• 申請號: 201510429645.1
• 申請日: 2015-07-21
• 公開（公告）號: CN105063737B
• 公開（公告）日: 2017-08-29
• 發明（設計）人: 周丁政
• 申請（專利權）人: 常州正成機電科技有限公司
• 主分類號: C25F3/02
• 分類號: C25F3/02;C25F7/00
• 代理公司: 常州市天龍專利事務所有限公司32105
• 代理人: 周建觀,張云

1.一種電極裝置，包括母電極板（1），其特征在于：

a、所述母電極板（1）電連接上電面（5），上電面（5）的外周設有密封圈（8），

b、所述密封圈（8）的頂面在不受壓力時，該密封圈（8）的頂面高于上電面（5）的表面，

c、所述母電極板（1）上或旁邊設有被加工板夾緊裝置（6）。

2.根據權利要求1所述的電極裝置，其特征在于：所述母電極板（1）上帶有或裝有子電極（2），子電極（2）上裝有孫電極（3），上電面（5）為孫電極（3）的頂面，所述母電極板（1）上裝有絕緣托板（4），絕緣托板（4）上開有密封槽（9），所述密封圈（8）嵌在密封槽（9）中。

3.根據權利要求2所述的電極裝置，其特征在于：所述母電極板（1）上除了與子電極（2）的連接面之外的其它表面均具有電絕緣層，所述子電極（2）上除了與母電極板（1）及孫電極（3）的連接面之外的其它表面均具有電絕緣層，所述孫電極（3）上除了與子電極（2）的連接面及孫電極（3）的頂面之外的其它表面均具有電絕緣層。

4.根據權利要求1所述的電極裝置，其特征在于：所述上電面（5）是母電極板（1）上的一個區域，母電極板（1）上的上電面（5）周圍開有密封槽（9），所述密封圈（8）嵌在所述密封槽（9）中。

5.根據權利要求1所述的電極裝置，其特征在于：所述上電面（5）是母電極板（1）上的一個區域，母電極板（1）下墊有安裝板（7），所述密封圈（8）支撐在安裝板（7）上且圍繞在母電極板（1）的周邊。

6.根據權利要求1所述的電極裝置，其特征在于：所述母電極板（1）上帶有或裝有子電極（2），上電面（5）為子電極（2）的頂面，所述子電極（2）的頂面上開有密封槽（9），所述密封圈（8）嵌在所述密封槽（9）中。

7.根據權利要求1所述的電極裝置，其特征在于：所述母電極板（1）上帶有或裝有子電極（2），上電面（5）為子電極（2）的頂面，所述密封圈（8）支撐在母電極板（1）上且圍繞在子電極（2）的周邊。

8.根據權利要求1所述的電極裝置，其特征在于：所述母電極板（1）上帶有或裝有子電極（2），上電面（5）為子電極（2）的頂面，所述母電極板（1）上裝有絕緣托板（4），所述子電極（2）的頂面上開有沉臺，所述沉臺與絕緣托板（4）之間圍成密封槽（9），所述密封圈（8）嵌在所述密封槽（9）中。

9.根據權利要求1所述的電極裝置，其特征在于：所述母電極板（1）上帶有或裝有子電極（2），上電面（5）為子電極（2）的頂面，所述母電極板（1）上裝有絕緣托板（4），絕緣托板（4）上開有密封槽（9），所述密封圈（8）嵌在所述密封槽（9）中。

10.根據權利要求1所述的電極裝置，其特征在于：所述母電極板（1）上帶有或裝有子電極（2），子電極（2）上裝有孫電極（3），上電面（5）為孫電極（3）的頂面，所述孫電極（3）的頂面上開有密封槽（9），所述密封圈（8）嵌在所述密封槽（9）中。

11.根據權利要求1所述的電極裝置，其特征在于：所述母電極板（1）上帶有或裝有子電極（2），子電極（2）上裝有孫電極（3），上電面（5）為孫電極（3）的頂面，所述密封圈（8）支撐在母電極板（1）上且圍繞在子電極（2）和孫電極（3）的周邊。

12.根據權利要求1所述的電極裝置，其特征在于：所述被加工板夾緊裝置（6）包括壓板（6-1）、調節桿（6-2）、彈簧（6-3）、操作螺母（6-4）、絕緣定位套（6-5）、內圈（6-6）和絕緣墊圈（6-7），所述壓板（6-1）設在調節桿（6-2）的上部，彈簧（6-3）套置在調節桿（6-2）上，操作螺母（6-4）擰在調節桿（6-2）上，所述母電極板（1）上具有安裝孔（11），安裝孔（11）中裝有絕緣定位套（6-5）和內圈（6-6），調節桿（6-2）的桿身插在內圈（6-6）中且與內圈（6-6）滑動配合，所述彈簧（6-3）的一端與壓板（6-1）相抵，另一端與內圈（6-6）相抵，操作螺母（6-4）通過絕緣墊圈（6-7）與絕緣定位套（6-5）、內圈（6-6）及母電極板（1）的底部相抵。

13.一種給電解蝕刻被加工板上電的方法，其特征在于：

采用如權利要求1~12之任一項所述的電極裝置，在電極裝置的上電面（5）周圍設置密封圈（8）；

將電解蝕刻被加工板（10）的下表面與密封圈（8）相壓，且使電解蝕刻被加工板（10）的下表面與上電面（5）保持接觸，密封圈（8）將電極裝置的上電面（5）與電解蝕刻液隔開，所述電極裝置上的電通過上電面（5）傳導至電解蝕刻被加工板（10）上。