[發明專利]圖像測量設備及顯示測量結果的方法

有效

• 申請號: 201510425446.3
• 申請日: 2015-07-17
• 公開（公告）號: CN105277175B
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 張玉武;高田彰;花村尚史;前田拓甫
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G01C11/00
• 分類號: G01C11/00;G01B9/04
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

本發明涉及圖像測量設備及顯示測量結果的方法，其中，該圖像測量設備被配置為通過照相機拍攝放置在載物臺上的測量對象的圖像、將所拍攝圖像顯示在拍攝圖像顯示畫面上并且與所述測量對象的所拍攝圖像分開地將基于測量結果的判斷結果顯示在概要列表中。所述圖像測量設備具有：單個判斷結果顯示區域，其被配置為顯示針對各測量位置的單個判斷結果；以及總的判斷結果顯示區域，其被配置為顯示針對測量對象單位的總的判斷結果。該圖像測量設備被配置為將所述單個判斷結果和所述總的判斷結果一起顯示。

技術領域

本發明涉及一種圖像測量設備，并且特別涉及圖像測量裝置或安裝了攝像單元的定量顯微鏡等中優選使用的圖像測量設備。該圖像測量設備被配置為：通過照相機來拍攝放置在載物臺上的測量對象的圖像，在拍攝圖像顯示畫面上顯示所拍攝圖像，并且與所拍攝的測量對象的圖像分開地在概要列表中顯示基于測量結果的判斷結果。

背景技術

諸如在日本專利公開H03-57403號和日本特開2003-139520中所描述的圖像測量裝置等的典型圖像測量裝置具有能夠記錄一次進行的測量過程以及在對具有相同形狀的測量對象(也稱為工件)進行測量的情況下能夠自動地再現所記錄的測量過程的部件程序。另外，如日本特開2001-319219中所述，圖像測量設備具有公差比較功能，在該公差比較功能中，在已經測量了測量對象之后，將測量值與設計值進行比較，以判斷該測量值是否在預定的公差以內。通常，在圖像測量裝置通過使用部件程序來進行具有相同形狀的多個工件的連續測量的情況下，操作者針對各工件執行部件程序并且檢驗所輸出的公差判斷結果，以判斷工件的質量。

例如，如圖1所示，通過在測量結果顯示區域中展現測量值和設計值的標記來進行公差比較的判斷結果(“OK”(成功)或者“NG”(失敗))的顯示。然而，由于利用該顯示難以獲知公差判斷結果，因此如日本特開2001-59708中所述，提供了與測量對象的圖像分開地在列表中給出判斷結果的概要顯示。

如圖1所示，公差比較的判斷結果通常與測量結果一起通過諸如“OK”和“NG”等的文字來顯示。因此，操作者難以直觀地理解測量結果近似于設計值還是在公差范圍的邊緣、測量結果是大于還是小于設計值等。

另外，在通過傳統圖像測量系統進行具有相同形狀的工件的連續測量的情況下，為了檢驗測量結果的變化，需要通過使用圖像測量系統中所安裝的統計/分析功能或者具有統計/分析功能的外部程序來單獨進行各測量結果的解析，這使得操作者難以實時檢驗測量結果的變化。

因此，操作者難以檢驗工件的形狀中的偏差和變化。例如，即使處理工件的工具存在磨損等并且工件的處理精度隨時間而劣化，進行測量的操作者也難以注意到這樣的劣化，并且在公差測量結果返回“NG”之前無法檢測到該劣化。

發明內容

為解決上述傳統問題而構思了本發明，因此將本發明配置為能夠在例如使用部件程序對具有相同形狀的測量對象進行連續測量期間直觀并且容易地將判斷結果的詳細內容和測量結果的變化通知給操作者。

本發明通過如下的圖像測量設備解決上述問題，其中該圖像測量設備被配置為使得：通過照相機拍攝放置在載物臺上的測量對象的圖像，將所拍攝圖像顯示在拍攝圖像顯示畫面上，并且與測量對象的所拍攝圖像分開地將基于測量結果的判斷結果顯示在概要列表中。如圖2所示，該圖像測量設備包括：單個判斷結果顯示區域，其被配置為顯示針對各測量位置的單個判斷結果；以及總的判斷結果顯示區域，其被配置為顯示針對測量對象單位的總的判斷結果。該圖像測量設備被配置為將所述單個判斷結果和所述總的判斷結果一起顯示。

這里，在所述總的判斷結果顯示區域中對測量值相對于判斷范圍的位置進行模擬顯示。

另外，在所述總的判斷結果顯示區域附近顯示當前測量值相對于先前測量值的增減方向。

另外，在所述總的判斷結果顯示區域的背景中顯示表示測量值的變化的趨勢圖。