[發(fā)明專利]制備合成石英玻璃砣的沉積爐有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510420175.2 | 申請日： | 2015-07-16 |
| 公開（公告）號： | CN104926087B | 公開（公告）日： | 2018-03-27 |
| 發(fā)明（設計）人： | 王玉芬;聶蘭艦;向在奎;饒傳東;王宏杰;劉飛翔 | 申請（專利權）人： | 中國建筑材料科學研究總院 |
| 主分類號： | C03B20/00 | 分類號： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙)11348 | 代理人： | 王偉鋒,劉鐵生 |
| 地址： | 100024*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制備 合成 石英玻璃 沉積 | ||
1.制備合成石英玻璃砣的沉積爐，其特征在于，包括：
爐體，所述爐體由爐頂、爐壁和爐底組成，所述爐頂、爐壁和爐底圍成爐膛；
燃燒器，設置于爐頂，所述的燃燒器中的原料為四氯化硅、氫氣和氧氣，燃燒器最多為2個；
基礎桿，自所述爐底垂直伸入到所述爐膛內，所述基礎桿可相對于爐體在垂直方向上移動，所述基礎桿可以其軸線為旋轉軸轉動；
沉積池，設于基礎桿的頂部，與基礎桿固定連接，所述沉積池由底面和側壁圍成，所述沉積池作為石英玻璃砣的沉積容器；
所述爐膛內圍繞沉積池的外圍設有用于提高石英玻璃沉積砣邊緣溫度的輔助加熱裝置。
2.根據(jù)權利要求1所述的制備合成石英玻璃砣的沉積爐，其特征在于，所述沉積池的側壁與底面的角度為90°～150°。
3.根據(jù)權利要求1所述的制備合成石英玻璃砣的沉積爐，其特征在于，所述沉積池的材質為耐火材料，所述耐火材料為氧化鋁、氧化鋯或鋯石英。
4.根據(jù)權利要求1所述的制備合成石英玻璃砣的沉積爐，其特征在于，所述輔助加熱裝置為電阻絲加熱、高溫加熱棒或氫氧火焰燃燒器。
5.根據(jù)權利要求1所述的制備合成石英玻璃砣的沉積爐，其特征在于，所述輔助加熱裝置與沉積池之間設置一圈爐襯，所述爐襯上具有多個導熱通孔，導熱通孔的直徑為2mm～20mm。
6.根據(jù)權利要求5所述的制備合成石英玻璃砣的沉積爐，其特征在于，所述爐襯采用碳化硅、氮化硅或氧化鋁制成。
7.根據(jù)權利要求1所述的制備合成石英玻璃砣的沉積爐，其特征在于，所述燃燒器與垂直線的夾角為0°～45°。
8.根據(jù)權利要求1所述的制備合成石英玻璃砣的沉積爐，其特征
在于，所述燃燒器的出口與沉積砣面之間的距離為200mm～400mm,沉積過程中燃燒器出口至沉積面的距離恒定。
9.根據(jù)權利要求1所述的制備合成石英玻璃砣的沉積爐，其特征在于，沉積爐的底部設置1～4個尾氣排風口，并采用強制排風裝置，使沉積爐膛內產生的尾氣有序排出，保證沉積爐膛內氣流場的穩(wěn)定，5以及使沉積爐膛內形成微正壓，防止外界空氣進入沉積爐膛內。
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