[發明專利]一種大口徑抽除氙氣低溫泵

有效

• 申請號: 201510419303.1
• 申請日: 2015-07-16
• 公開（公告）號: CN105041609A
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發明（設計）人: 柏樹;顏昌林;楊建斌;劉玉魁
• 申請（專利權）人: 蘭州空間技術物理研究所
• 主分類號: F04B37/08
• 分類號: F04B37/08;F04B39/06
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 付雷杰;楊志兵

1.一種大口徑抽除氙氣低溫泵，其特征在于，包括低溫制冷機(1)、吸附陣(2)、熱沉(3)、防輻射屏(4)、泵殼(5)、障板(6)、障板測溫元件(7)、吸附陣測溫元件(8)和一級冷屏(9)；其中，低溫制冷機(1)為二級低溫制冷機，通過法蘭安裝在泵殼(5)上，并與泵殼(5)之間設有橡膠密封圈；吸附陣(6)安裝在低溫制冷機(1)的二級冷頭上，吸附陣(2)由多個長方形殼體組成，長方形殼體的上下表面開放，長方形殼體的側面設有翅片；吸附陣(2)上安裝有測溫元件(8)；一級冷屏(9)固定安裝在低溫制冷機(1)的一級冷頭上，表面發黑處理；熱沉(3)安裝在低溫泵殼體(5)上；障板(6)固定安裝在低溫泵口處的熱沉上，為板狀結構，且障板的垂直方向對吸附陣(2)實現一次光學屏蔽，障板(6)表面噴涂有石墨涂層，障板測溫元件(7)安裝在障板(6)上。

2.如權利要求1所述的大口徑抽除氙氣低溫泵，其特征在于，吸附陣(2)由1.5mm厚無氧銅鉚接而成，在吸附陣(6)與低溫制冷機(1)的二級冷頭的連接處墊有銦墊片。

3.如權利要求1所述的大口徑抽除氙氣低溫泵，其特征在于，所述熱沉(3)通液氮、冷氮氣或機械制冷工質。