[發(fā)明專利]一種微機(jī)械壓力傳感器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510419147.9
• 申請(qǐng)日: 2015-07-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105021324A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-11-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安勵(lì)德微系統(tǒng)科技有限公司
• 主分類號(hào): G01L1/10
• 分類號(hào): G01L1/10
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 閔岳峰

1.一種微機(jī)械壓力傳感器，其特征在于，包括固定結(jié)構(gòu)(1)以及能夠相對(duì)于該固定結(jié)構(gòu)(1)運(yùn)動(dòng)的質(zhì)量塊(2)，用于檢測(cè)質(zhì)量塊(2)相對(duì)于固定結(jié)構(gòu)(1)位移的檢測(cè)裝置(3)，用于驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊(2)產(chǎn)生相對(duì)于固定結(jié)構(gòu)(1)位移的驅(qū)動(dòng)裝置(8)，用于控制檢測(cè)裝置(3)輸出信號(hào)并給驅(qū)動(dòng)裝置(8)提供輸入信號(hào)的控制裝置(4)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)械壓力傳感器，其特征在于，檢測(cè)裝置(3)包括電荷放大器或跨阻放大器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微機(jī)械壓力傳感器，其特征在于，檢測(cè)裝置(3)包括電荷放大器時(shí)，該電荷放大器包括運(yùn)算放大器和反饋電容器，反饋電容器配置在運(yùn)算放大器輸入和輸出之間；檢測(cè)裝置(3)包括跨阻放大器時(shí)，該跨阻放大器包括運(yùn)算放大器和反饋電阻器，反饋電阻器配置在運(yùn)算放大器輸入和輸出之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的微機(jī)械壓力傳感器，其特征在于，當(dāng)檢測(cè)裝置(3)中包括電荷放大器時(shí)，控制裝置(4)中還包括移相器(14)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)械壓力傳感器，其特征在于，檢測(cè)裝置(3)通過(guò)其檢測(cè)端(9)與質(zhì)量塊(2)電容性地耦合連接；驅(qū)動(dòng)裝置(8)其通過(guò)驅(qū)動(dòng)端(12)與質(zhì)量塊(2)電容性地耦合連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)械壓力傳感器，其特征在于，控制裝置(4)用于控制檢測(cè)裝置(3)輸出信號(hào)的幅值，包括依次連接的整流器(5)、低通濾波器(6)以及可變?cè)鲆娣糯笃?7)，其中，檢測(cè)裝置(3)輸出連接整流器(5)輸入端和可變?cè)鲆娣糯笃?7)輸入端，可變?cè)鲆娣糯笃?7)輸出端連接驅(qū)動(dòng)裝置(8)輸入端。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)械壓力傳感器，其特征在于，還包括讀取裝置(10)，該讀取裝置(10)的輸入端與檢測(cè)裝置(3)的輸出連接，或者與驅(qū)動(dòng)裝置(8)的輸出連接，或者與控制裝置(4)的輸出連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微機(jī)械壓力傳感器，其特征在于，該讀取裝置(10)中包括比較器，用于將讀取裝置(10)的輸出信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)榉讲妷盒盘?hào)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)械壓力傳感器，其特征在于，檢測(cè)裝置(3)、控制裝置(4)和驅(qū)動(dòng)裝置(8)的輸入信號(hào)和輸出信號(hào)分別為單端信號(hào)，或者為差分式的雙端信號(hào)。