[發(fā)明專利]利用三個驅(qū)動元件驅(qū)動雙軸MEMS器件的方法和裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510415843.2
• 申請日: 2003-03-03
• 公開（公告）號: CN105068561B
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 安德烈斯·費爾南德斯;威廉·C·迪克森
• 申請（專利權(quán)）人: 格雷姆格拉斯網(wǎng)絡(luò)公司
• 主分類號: G05D3/12
• 分類號: G05D3/12
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11204
• 代理人: 王達佐,王艷春

1.一種可受控進行雙向角位移的具有兩個軸的裝置，包括：

平臺，其能夠響應(yīng)驅(qū)動而繞所述兩個軸進行角位移；

第一、第二和第三電極，其位于所述平臺附近，僅利用所述第一、第二和第三電極來為所述平臺提供直接的非接觸式驅(qū)動，其中所述第一、第二和第三電極相同或者至少有一個的重要參數(shù)不同于其他兩個，所述第一、第二和第三電極使得所述平臺能夠傾斜過一個可控制的角度，用以實現(xiàn)有效的雙向角位移；

三個電壓控制源，其用于向所述第一、第二和第三電極提供對相應(yīng)的三個靜電力的獨立控制；以及

控制器，用于將相對于所述可受控進行雙向角位移的兩個軸的選定位置映射變換為所述三個靜電力。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述第一、第二和第三電極中的第二、第三電極具有與所述第一、第二和第三電極中的第一電極不相等的面積。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述第一、第二和第三電極中的第一電極設(shè)置成直接對準所述兩個軸中的第一個軸，第二電極和第三電極分別對稱地設(shè)置在所述兩個軸中的所述第一個軸的相對的兩側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述第一、第二和第三電極具有不相等的面積，并且被設(shè)置成使所述第一、第二和第三電極之間的間隙不與所述兩個軸相重合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述平臺還能夠沿著與未被偏置的平臺的平面垂直的z軸位移，從而所述平臺沿z軸以往復(fù)移動的方式運動。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述控制器根據(jù)以下關(guān)系操作以進行映射變換：

V1=F((3/2)Cos(θ)+(1/2)Sin(θ))Vx+F((3/2)Sin(θ)-(1/2)Cos(θ))Vy+Vf1,]]>

以及

V₃＝-F Sin(θ)V_x+F Cos(θ)V_x+V_f3

其中，F(xiàn)及偏壓值V_f1、V_f2和V_f3都是與角位移指令信號V_x和V_y無關(guān)的常數(shù)；θ為新坐標軸相對于原始坐標軸所旋轉(zhuǎn)的角度；并且

其中，所述第一、第二和第三電極具有相等的面積，并且所述第一、第二和第三電極繞中心z軸旋轉(zhuǎn)120度的整數(shù)倍的角度時所述映射變換不變。