[發明專利]一種硅烷尾氣無害化回收方法

在審

• 申請號: 201510413358.1
• 申請日: 2015-07-14
• 公開（公告）號: CN107032357A
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發明（設計）人: 黃國強;黃友光;王國鋒
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所12201
• 代理人: 王麗

1.一種硅烷尾氣無害化回收的方法；其特征是在反應器中裝有氯硅烷，其中氯硅烷是二氯硅烷、三氯硅烷、四氯化硅中兩種或三種物質的混合物，吸收器中裝有吸收劑，反應器與吸收器是通過管道相連；硅烷尾氣通過反應器入口加入，在催化劑作用下與氯硅烷反應后，99％以上的硅烷尾氣與氯硅烷反應，被冷凝器冷凝回收，未反應的硅烷尾氣進入到吸收器中被吸收。

2.如權利要求1所述的方法，其特征是反應溫度控制在0～200℃。

3.如權利要求1所述的方法，其特征是催化劑以散堆的形式裝填在反應器中，所述催化劑是是活性氧化鋁、氯化鋁、溴化鋁、胺基堿性樹脂或者它們的復配物，其中胺基堿性樹脂優選D66、A21、A100、D301R。

4.如權利要求3所述的方法，其特征是催化劑以結構催化劑形式裝填在反應器中，所述的結構催化劑是將催化劑填于耐腐蝕工業布袋中，與波紋填料間隔成卷制得。

5.如權利要求1所述的方法，其特征是氯硅烷中四氯化硅與三氯氫硅摩爾比0.1-1000：1。

6.如權利要求1所述的方法，其特征是氯硅烷中四氯化硅、三氯氫硅和二氯氫硅摩爾比(1-10000)：100：(10000-1)。

7.如權利要求1所述的方法，其特征是吸收劑是能與硅烷尾氣反應的物質，吸收劑為氫氧化鈉水溶液、氫氧化鉀水溶液或氫氧化鈣水溶液。

8.如權利要求1所述的方法，其特征是冷凝器中冷凝溫度為-100-20℃。

9.如權利要求1所述的方法，其特征是反應器壓力為0-5MPa。