[發明專利]電化學機械拋光裝置

在審

• 申請號: 201510407737.X
• 申請日: 2015-07-13
• 公開（公告）號: CN105710761A
• 公開（公告）日: 2016-06-29
• 發明（設計）人: 倪建明
• 申請（專利權）人: 倪建明
• 主分類號: B24B37/02
• 分類號: B24B37/02;B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34
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技術領域

本發明涉及拋光技術領域，尤其涉及一種電化學機械拋光裝置。

背景技術

目前常用的拋光技術包括機械拋光，化學拋光，以及電化學拋光。其中， 機械拋光是通過擠壓磨料，從而將工件的表面磨平。化學拋光是通過有規則 地溶解工件表面，以使其光亮平滑。電化學拋光也稱電解拋光，是以被拋工 件為陽極，不溶性金屬為陰極，兩極同時浸入到電解槽中，通以直流電而產 生有選擇性的陽極溶解，從而使工件表面光亮度增大，達到鏡面效果。

然而，現有機械拋光技術的加工精度不高，拋光面的粗糙度較大，不適 于拋光精密器件。而在利用化學方式或電化學方式進行拋光管件內表面時， 由于化學溶液在管件內的流速不同，且工件拋光表面的溶解程度難以控制， 從而造成管壁厚度的不均勻性。

因此，需要一種電化學機械拋光裝置，其可實現管件內壁的均勻拋光， 且具有高拋光效果。

發明內容

本發明解決的問題是提供一種電化學機械拋光裝置，其可實現管件內壁 的均勻拋光，且具有高拋光效果。

為解決上述問題，本發明提供了一種用于管件內壁拋光的電化學機械拋 光裝置。所述電化學機械拋光裝置包括：包括：工作臺，所述管件適于置于 所述工作臺上；導引結構，所述工作臺適于沿所述導引結構滑動，以帶動所述 管件移動；以及電極塊包括第一電極塊和第二電極塊，所述第一電極與所述 第二電極極性相反，所述第一電極塊適于與所述管件電連接，所述第二電極 適于在所述管件隨所述工作臺沿所述導引結構滑動時穿過所述管件。

可選的，所述的電化學機械拋光裝置，進一步包括懸臂，所述懸臂沿所 述導引結構的延伸方向配置且適于穿過所述管件，所述第二電極塊配置于所 述懸臂上。

可選的，所述的電化學機械拋光裝置進一步包括一支撐架，所述懸臂的 一端配置于所述支撐架上，另一端懸空。

可選的，所述的電化學機械拋光裝置進一步包括兩支撐件，所述懸臂的 兩端分別適于配置于所述兩支撐件上。

可選的，所述的電化學機械拋光裝置進一步包括緊固件，所述緊固件適 于拉緊所述懸臂，以使所述懸臂平行于所述導引結構的所述延伸方向。

可選的，所述的電化學機械拋光裝置進一步包括絕緣件，所述絕緣件配 置所述懸臂上，且位于所述第二電極塊的一側，所述絕緣件的截面尺寸大于 所述第二電極塊的截面尺寸。

可選的，所述第二電極塊與所述懸臂電連接。

可選的，所述懸臂由包括導電內芯和絕緣涂層覆蓋所述導電內芯，且在 配置有所述第二電極塊的位置露出所述導電內芯。

可選的，所述的電化學機械拋光裝置進一步包括底座，所述支撐件固定 于所述底座上。

可選的，所述工作臺包括固持部和滑動部，所述固持部適于固定所述管 件，所述滑動部適于沿所述導引結構滑動。

可選的，所述工作臺的所述固持部包括卡槽，所述管件適于被配置于所 述卡槽內。

可選的，所述固持部適于將多個所述管件同時配置于其上。

可選的，所述工作臺的所述滑動部和所述導引結構分別包括滑槽和滑軌， 所述滑槽與所述滑軌相配合以使得所述工作臺沿所述導引結構滑動。

可選的，所述第一電極塊適于通過所述工作臺的所述固持部與所述管件 電連接。

與現有技術相比，本發明的技術方案具有以下優點：

首先，在本發明提供的電化學機械拋光裝置中，待拋光的管件可相對于 所述負電極塊運動。如此一來，當所述管件相對于所述負電極塊勻速運動時， 管件內壁不同部位的拋光量相同，從而可以實現管件內壁的均勻拋光。

其次，在利用本發明提供的電化學拋光裝置時，所述負電極塊懸置于所 述管件的內部，而且位于所述管件的中心軸位置。因此，所述負電極塊到所 述管件內壁的垂直距離相同，從而進一步增強拋光效果的均勻性。

附圖說明

圖1是本發明的一實施例提供的電化學機械拋光裝置的結構示意圖；

圖2是本發明的一實施例提供的電化學機械拋光裝置的剖面示意圖；

圖3是本發明的一實施例提供的電化學機械拋光裝置的部分示意圖；

圖4是本發明的另一實施例提供的電化學機械拋光裝置的結構示意圖；

圖5是本發明的另一實施例提供的電化學機械拋光裝置的剖面示意圖。

具體實施方式