[發(fā)明專利]基于金剛線切割的硅片的制絨預(yù)處理方法及硅片制絨方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510403856.8
• 申請日: 2015-07-08
• 公開（公告）號: CN104962998A
• 公開（公告）日: 2015-10-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 應(yīng)智琴;葉繼春;高平奇;韓燦;廖明墩
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10;H01L31/18
• 代理公司: 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11489
• 代理人: 郭曉華

1.一種基于金剛線切割的硅片的制絨預(yù)處理方法，其包括如下步驟：

a將氫氟酸溶液、過氧化氫溶液和金屬鹽混合得到預(yù)處理液；

b將金剛線切割的硅片置于所述預(yù)處理液中進(jìn)行預(yù)處理A，直到基本去除硅片上的切割紋；

c用酸性溶液對經(jīng)過預(yù)處理A處理的硅片進(jìn)行清洗，以去除硅片上的金屬顆粒；

d將用酸性溶液清洗過的硅片置于預(yù)處理液中進(jìn)行預(yù)處理B，在所述硅片上形成具均勻微納結(jié)構(gòu)的預(yù)處理絨面。

2.一種如權(quán)利要求1所述的制絨預(yù)處理方法，其特征在于，步驟a中所述氫氟酸溶液和過氧化氫溶液的體積比為1～10:5～40，所述氫氟酸溶液中氫氟酸的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為40％～50％，所述過氧化氫溶液中過氧化氫的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為20％～55％；所述預(yù)處理液中金屬鹽為硝酸銅、硝酸銀、硝酸鈀、氯化銅、氯金酸、氯鉑酸、鉻酸鉀、硫酸鎳中的至少一種，所述金屬鹽的摩爾濃度為1μmol/L～10⁵μmol/L。

3.一種如權(quán)利要求2所述的制絨預(yù)處理方法，其特征在于，所述預(yù)處理液中進(jìn)一步包括添加劑，所述添加劑為異丙醇、乙醇、正丁醇、異丁醇、乙二醇、正丙醇、乙二醇乙醚、二乙二醇中的至少一種。

4.一種如權(quán)利要求3所述的制絨預(yù)處理方法，所述氫氟酸溶液、過氧化氫溶液和添加劑的體積比為1～10:5～40:1～20，所述氫氟酸溶液中氫氟酸的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為40％～50％，所述過氧化氫溶液中過氧化氫的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為20％～55％，所述添加劑的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為60％～98％。

5.一種如權(quán)利要求1所述的制絨預(yù)處理方法，其特征在于，步驟b中所述預(yù)處理A的預(yù)處理時間為1分鐘～10分鐘，預(yù)處理的溫度為10℃～45℃。

6.一種如權(quán)利要求1所述的制絨預(yù)處理方法，其特征在于，步驟d中所述預(yù)處理B的處理時間為30秒～5分鐘，預(yù)處理的溫度為10℃～45℃。

7.一種如權(quán)利要求1所述的制絨預(yù)處理方法，其特征在于，步驟c中所述酸性溶液為鹽酸、硫酸、磷酸、硝酸、醋酸、檸檬酸、羧酸、磺酸、亞磺酸、硫羧酸、氟銻酸、氟銻磺酸中的至少一種。

8.一種基于金剛線切割的硅片的制絨方法，其包括如下步驟：

a將氫氟酸溶液、過氧化氫溶液、金屬鹽和添加劑混合得到預(yù)處理液；

b將金剛線切割的硅片置于所述預(yù)處理液中進(jìn)行預(yù)處理A，直到基本去除硅片上的切割紋；

c用酸性溶液對經(jīng)過預(yù)處理A處理的硅片進(jìn)行清洗，以去除硅片上的金屬顆粒；

d將用酸性溶液清洗過的硅片置于預(yù)處理液中進(jìn)行預(yù)處理B，直到在所述硅片上形成具均勻微納結(jié)構(gòu)的預(yù)處理絨面；

e將經(jīng)過預(yù)處理B的硅片置于氫氟酸硝酸制絨液中進(jìn)行制絨處理。

9.一種如權(quán)利要求8所述的制絨方法，其特征在于，步驟e中所述氫氟酸硝酸制絨液為氫氟酸溶液、硝酸溶液和水以1～5：5～10：5～15的體積比混合得到的混合物，所述氫氟酸溶液中氫氟酸的質(zhì)量濃度為40％～50％，所述硝酸溶液中硝酸的質(zhì)量濃度為50％～70％；步驟c中所述制絨處理的時間為1分鐘～3分鐘，所述制絨處理的溫度為5℃～15℃。

10.一種如權(quán)利要求8所述的制絨方法，其特征在于，步驟e之后還包括步驟f：將制絨處理后的硅片置于氫氟酸溶液、過氧化氫溶液、硝酸銀溶液和異丙醇的混合溶液中進(jìn)行黑硅制絨；其中所述氫氟酸溶液、過氧化氫溶液和異丙醇的體積比為1～25:5～40：1～30，所述氫氟酸溶液中氫氟酸的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為40％～50％，所述過氧化氫溶液中過氧化氫的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為20％～55％，所述硝酸銀溶液的摩爾濃度為1μmol/L～10⁵μmol/L。