[發明專利]一種晶體硅太陽能電池的絨面結構的制備方法

有效

• 申請號: 201510401535.4
• 申請日: 2015-07-09
• 公開（公告）號: CN104979430A
• 公開（公告）日: 2015-10-14
• 發明（設計）人: 鄒帥;王栩生;邢國強
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0236
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251
• 代理人: 陸金星

1.一種晶體硅太陽能電池的絨面結構的制備方法，其特征在于：包括如下步驟：

(1)?采用金屬催化腐蝕的方法制備絨面結構，腐蝕溫度為8~80℃，處理時間為10~1000秒；

(2)?絨面微結構一步修正刻蝕：將帶有絨面結構的硅片放入化學腐蝕液中進行微結構修正刻蝕；

所述化學腐蝕液選自以下溶液中的一種：NaOH溶液、KOH溶液、NaOH和NaClO的混合堿溶液、四甲基氫氧化銨溶液。

2.一種晶體硅太陽能電池的絨面結構的制備方法，其特征在于：包括如下步驟：

(1)?采用金屬催化腐蝕的方法制備絨面結構，腐蝕溫度為8~80℃，處理時間為10~1000秒；

(2)?絨面微結構二步修正刻蝕：將帶有絨面結構的硅片放入化學腐蝕液中進行微結構修正刻蝕；

(a)?將帶有絨面的硅片放入酸性化學腐蝕液中進行微結構修正刻蝕；

所述酸性化學腐蝕液為H₂CrO₄和HF的混合酸溶液；

(b)?將帶有絨面的硅片放入堿性化學腐蝕液中進行微結構修正刻蝕；

所述堿性化學腐蝕液選自以下溶液中的一種：NaOH溶液、KOH溶液、四甲基氫氧化銨溶液、NaOH和NaClO的混合堿溶液。

3.根據權利要求1或2所述的制備方法，其特征在于：所述金屬催化腐蝕的方法如下：將硅片放入含有氧化劑以及金屬鹽的氫氟酸溶液中，在硅片表面形成納米級絨面結構；其中，腐蝕溫度為8~80℃，處理時間為10~1000秒。

4.根據權利要求1或2所述的制備方法，其特征在于：所述金屬催化腐蝕的方法如下：(a)?先將硅片放入含有金屬離子的溶液中浸泡，使硅片表面涂覆一層金屬納米顆粒；(b)?然后用化學腐蝕液腐蝕硅片表面，形成納米級絨面結構；所述化學腐蝕液為含有氧化劑的氫氟酸溶液；

其中，步驟(b)中的腐蝕溫度為8~80℃，處理時間為10~1000秒。

5.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于：所述步驟(a)中含有金屬離子的溶液為含有金屬離子的HF溶液。

6.根據權利要求1或2所述的制備方法，其特征在于：所述腐蝕溫度為20~35℃，處理時間為20~200秒。

7.根據權利要求1或2所述的制備方法，其特征在于：所述溶液中金屬離子的濃度大于6E^-5?mol/L。

8.根據權利要求1或2所述的制備方法，其特征在于：在所述絨面微結構修正刻蝕步驟之前或之后，還有去除金屬顆粒步驟，具體如下：分別用酸液、去離子水清洗硅片，去除金屬顆粒。

9.根據權利要求1或2所述的制備方法，其特征在于：所述硅片為使用金剛線切割制備得到的硅片。