[發明專利]一種蒸鍍坩堝以及OLED材料的蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201510395114.5
• 申請日: 2015-07-07
• 公開（公告）號: CN104947041B
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發明（設計）人: 徐超
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司44304
• 代理人: 孫偉峰,黃進

1.一種蒸鍍坩堝，包括坩堝本體(10)以及加熱裝置(40)，所述坩堝本體(10)用于容納蒸鍍材料(30)，所述加熱裝置(40)用于對所述蒸鍍材料(30)進行加熱，所述坩堝本體(10)的開口端設置有一坩堝蓋子(20)，所述坩堝蓋子(20)中設置有蒸鍍孔(21)；其特征在于，所述坩堝本體(10)中設置有一兩端均為開口的中空結構件(50)，所述中空結構件(50)的一端穿過所述坩堝本體(10)的底部并與坩堝本體(10)的底部固定連接，另一端位于所述坩堝蓋子(20)下方并且正對于所述蒸鍍孔(21)；所述中空結構件(50)中設置有一桿狀件(60)，所述桿狀件(60)在一動力裝置(70)的驅動下可在所述中空結構件(50)中自由移動，并且，所述桿狀件(60)在所述動力裝置(70)的驅動下，至少部分可移動至所述蒸鍍孔(21)中；

其中，所述中空結構件(50)凸起于所述坩堝本體(10)底部的高度小于所述坩堝本體(10)的高度，并且大于所述坩堝本體(10)所容納的蒸鍍材料(30)的最大高度。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍坩堝，其特征在于，所述中空結構件(50)凸起于所述坩堝本體(10)底部的高度為所述坩堝本體(10)的高度的以上。

3.根據權利要求1所述的蒸鍍坩堝，其特征在于，所述中空結構件(50)的材料與所述坩堝本體(10)的材料相同，所述中空結構件(50)與所述坩堝本體(10)為一體成型。

4.根據權利要求1所述的蒸鍍坩堝，其特征在于，所述加熱裝置(40)包括電源(41)以及環繞于所述坩堝本體(10)外周的電熱絲(42)，所述電熱絲(42)與所述電源(41)電性連接。

5.根據權利要求4所述的蒸鍍坩堝，其特征在于，所述桿狀件(60)由電熱材料制備形成，所述桿狀件(60)與所述電源(41)電性連接。

6.根據權利要求1所述的蒸鍍坩堝，其特征在于，所述動力裝置(70)為伺服電機。

7.一種OLED材料的蒸鍍裝置，包括工作平臺(1)以及多個蒸鍍坩堝(2)，所述工作平臺(1)的中央具有工作通孔(1a)，所述多個蒸鍍坩堝(2)設置于所述工作通孔中，其特征在于，所述蒸鍍坩堝(2)為如權利要求1-6任一所述的蒸鍍坩堝。