[發明專利]一種火拋光輔助電感耦合等離子體加工裝置有效
| 申請號： | 201510389614.8 | 申請日： | 2015-07-06 |
| 公開（公告）號： | CN104916519B | 公開（公告）日： | 2017-03-15 |
| 發明（設計）人： | 王波;蘇星;張鵬;李娜;王駿 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 哈爾濱龍科專利代理有限公司23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150000 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 拋光 輔助 電感 耦合 等離子體 加工 裝置 | ||
【權利要求書】：
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