[發明專利]具有不同高度的組合件的梯度微機電系統麥克風有效

申請號：	201510379940.0	申請日：	2015-07-02
公開（公告）號：	CN105228068B	公開（公告）日：	2020-08-21
發明（設計）人：	M.里斯;J.鮑姆豪爾;F.李;S.艾拉克利亞諾斯	申請（專利權）人：	哈曼國際工業有限公司
主分類號：	H04R19/04	分類號：	H04R19/04
代理公司：	北京市柳沈律師事務所 11105	代理人：	陳堯劍
地址：	美國康***	國省代碼：	暫無信息
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	具有不同高度組合梯度微機系統麥克風
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【說明書】：

在至少一個實施方案中，提供了微機電系統(MEMS)麥克風組合件。所述組合件包括外殼、單微機電系統(MEMS)換能器、襯底層和應用殼體。所述單MEMS換能器被定位在所述外殼內。所述襯底層支撐所述單MEMS換能器。所述應用殼體支撐所述襯底層并且界定第一傳輸機構的至少一部分以使得所述單MEMS換能器的第一側能夠接收音頻輸入信號且界定第二傳輸機構的至少一部分以使得所述單MEMS換能器的第二側能夠接收所述音頻輸入信號。

技術領域

本文所公開的各方面一般涉及麥克風諸如基于梯度的微機電系統 (MEMS)麥克風，用于形成定向和噪聲消除麥克風。MEMS麥克風可布置有不同的組合件以適應幾何限制諸如可用高度、端口取向、角落安置等。

背景技術

雙單元MEMS組合件在Michel等的美國公布No.2012/0250897(’897公布)中進行闡述。除了別的外，′897公布還公開使用了至少兩個MEMS換能器的換能器組合件。該換能器組合件界定全向麥克風或定向麥克風。除了至少第一和第二MEMS換能器外，該組合件還包括電連接至MEMS換能器的信號處理電路、電連接至信號處理電路的多個終端墊和容納第一和第二 MEMS換能器的換能器外殼。MEMS換能器可使用線接合或倒裝芯片設計電連接至信號處理電路。信號處理電路可包括離散電路或集成電路。第一和第二MEMS換能器可串聯或并聯電連接至信號處理電路。第一和第二MEMS 換能器可串聯或并聯聲學地耦合。

發明內容

在至少一個實施方案中，提供了微機電系統(MEMS)麥克風組件。該組件包括外殼、單微機電系統(MEMS)換能器、襯底層和應用殼體。該單MEMS 換能器被定位在該外殼內。該襯底層支撐該單MEMS換能器。該應用殼體支撐該襯底層并且限定第一傳輸機構的至少一部分以使得單MEMS換能器的第一側能夠接收音頻輸入信號以及限定第二傳輸機構的至少一部分以使得單MEMS換能器的第二側能夠接收該音頻輸入信號。

附圖說明

在所附權利要求中具體地指出了本公開的實施方案。然而，通過參考以下結合附圖進行的詳細描述，各種實施方案的其它特征將變得更加明顯并且得到最好的理解，在附圖中：

圖1描繪了根據一個實施方案的梯度MEMS麥克風組合件的橫截面圖；

圖2描繪了根據一個實施方案的圖1的麥克風；

圖3A-3B描繪了根據各種實施方案的耦合至終端用戶組合件的麥克風組合件；

圖4描繪了根據一個實施方案的麥克風組合件和終端用戶組合件的一部分的分解圖；

圖5描繪了由于圖1的麥克風組合件所引起的空間濾波的一個實例；

圖6描繪了根據一個實施方案的圖1所述麥克風組合件的頻率響應的一個實例；

圖7描繪了根據一個實施方案的耦合至另一個終端用戶組合件的梯度 MEMS麥克風組合件的另一個橫截面圖；

圖8描繪了根據一個實施方案的梯度MEMS麥克風組合件的另一個橫截面圖；

圖9描繪了根據一個實施方案的梯度MEMS麥克風組合件的另一個橫截面圖；

圖10描繪了根據一個實施方案的梯度MEMS麥克風組合件的另一個橫截面圖；