[發明專利]紫外光敏器件、制備方法及應用其檢測紫外光的方法

有效

• 申請號: 201510377614.6
• 申請日: 2015-07-01
• 公開（公告）號: CN105097981B
• 公開（公告）日: 2017-06-06
• 發明（設計）人: 趙豪;劉同軍;劉紅閣;王雪;丁超
• 申請（專利權）人: 納智源科技（唐山）有限責任公司
• 主分類號: H01L31/101
• 分類號: H01L31/101
• 代理公司: 北京市浩天知識產權代理事務所(普通合伙)11276
• 代理人: 宋菲,劉云貴

1.一種紫外光敏器件，其特征在于，包括：第一光敏模塊、第二光敏模塊、絕緣連接部件和電路處理模塊；其中，

所述第一光敏模塊包括：第一襯底、氧化鋅感光層、第一電極和第二電極；其中，所述氧化鋅感光層用于探測待測光中的紫外光；所述第一電極和所述第二電極作為所述第一光敏模塊的電信號輸出端；所述第一光敏模塊用于探測待測光，并在其電信號輸出端輸出第一電信號；

所述第二光敏模塊包括：第二襯底、第三電極和第四電極；所述第三電極和所述第四電極作為所述第二光敏模塊的電信號輸出端；所述第二光敏模塊用于探測所述待測光，并在其電信號輸出端輸出第二電信號；

所述第一光敏模塊和所述第二光敏模塊通過所述絕緣連接部件進行連接；

所述電路處理模塊分別與所述第一光敏模塊的電信號輸出端和所述第二光敏模塊的電信號輸出端連接，用于接收并處理所述第一電信號和所述第二電信號，得到所述待測光中的紫外光的強度。

2.根據權利要求1所述的紫外光敏器件，其特征在于，所述第二襯底、所述第三電極和所述第四電極的材料分別與所述第一襯底、所述第一電極和所述第二電極的材料相同；所述第一襯底與所述第二襯底的形狀和尺寸相同；所述第一電極與所述第三電極的形狀和尺寸相同；所述第二電極與所述第四電極的形狀和尺寸相同。

3.根據權利要求1或2所述的紫外光敏器件，其特征在于，所述第一電極和所述第二電極相互不接觸，并設置在所述第一襯底上；所述氧化鋅感光層設置在所述第一電極和所述第二電極上；

所述第三電極和所述第四電極相互不接觸，并設置在所述第二襯底上。

4.根據權利要求1或2所述的紫外光敏器件，其特征在于，所述氧化鋅感光層設置在所述第一襯底上；所述第一電極和所述第二電極相互不接觸，并設置在所述氧化鋅感光層上；

所述第三電極和所述第四電極相互不接觸，并設置在所述第二襯底上。

5.根據權利要求3所述的紫外光敏器件，其特征在于，所述第一電極和所述第二電極為叉指電極；和/或，

所述第三電極和所述第四電極為叉指電極。

6.根據權利要求4所述的紫外光敏器件，其特征在于，所述第一電極和所述第二電極為叉指電極；和/或，

所述第三電極和所述第四電極為叉指電極。

7.根據權利要求1或2所述的紫外光敏器件，其特征在于，所述第一襯底、所述第二電極、所述氧化鋅感光層和所述第一電極依次層疊設置；所述第四電極、所述第二襯底和所述第三電極依次層疊設置；或者，

所述第二電極、所述第一襯底、所述氧化鋅感光層和所述第一電極依次層疊設置；所述第四電極、所述第二襯底和所述第三電極依次層疊設置。

8.根據權利要求7所述的紫外光敏器件，其特征在于，所述第一電極包括使所述待測光透過的第一照射區域和/或所述第二電極包括使所述待測光透過的第二照射區域；其中，所述第一照射區域和所述第二照射區域的垂直投影存在交集；以及，

所述第三電極包括使所述待測光透過的第三照射區域。

9.根據權利要求1所述的紫外光敏器件，其特征在于，所述電路處理模塊具體用于接收并處理所述第一光敏模塊和所述第二光敏模塊在所述待測光照射下輸出的所述第一電信號和所述第二電信號，并根據所述第一電信號和所述第二電信號的分壓差值，得到所述待測光中的紫外光的強度。

10.根據權利要求1、2、8任一項所述的紫外光敏器件，其特征在于，所述電路處理模塊包括：分壓模塊和比較模塊；

所述分壓模塊與所述第一電極、所述第二電極、所述第三電極和所述第四電極連接，用于對在不同強度的可見光照射下，所述第一光敏模塊輸出的第一參考電信號和所述第二光敏模塊輸出的第二參考電信號進行分壓調整，使所述第一參考電信號和所述第二參考電信號的分壓差值為定值，且使在不同強度的紫外光照射下，所述第一光敏模塊輸出的第三參考電信號和所述第二光敏模塊輸出的第四參考電信號的分壓差值不為零；

所述比較模塊與所述分壓模塊連接，用于判斷所述第一參考電信號和所述第二參考電信號的分壓差值是否為定值，且所述第三參考電信號和所述第四參考電信號的分壓差值是否不為零；和，

根據在所述待測光照射下輸出的所述第一電信號與所述第二電信號的分壓差值，得到所述待測光中的紫外光的強度。