[發(fā)明專利]一種物鏡光闌桿微調裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510369852.2 | 申請日: | 2015-06-29 |
| 公開(公告)號: | CN104952680B | 公開(公告)日: | 2017-04-19 |
| 發(fā)明(設計)人: | 孟祥良;王大千 | 申請(專利權)人: | 北京中科科儀股份有限公司 |
| 主分類號: | H01J37/26 | 分類號: | H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司: | 北京三聚陽光知識產(chǎn)權代理有限公司11250 | 代理人: | 周美華 |
| 地址: | 100190 北*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 物鏡 光闌 微調 裝置 | ||
1.一種物鏡光闌桿微調裝置,其特征在于,包括:
第一導向結構(50),沿著水平方向延伸;
第二導向結構(10),預緊地設置在第一導向結構(50)上,用于固定連接光闌桿,在外力驅動第二導向結構(10)時,第二導向結構(10)沿著第一導向結構(50)的延伸方向移動;
進給組件(20),用于通過進給為所述第二導向結構(10)提供移動的作用力;
補償組件(30),為所述進給組件提供擠壓彈力,以消除進給組件的進給誤差;
所述進給組件(20)為差動結構,包括第一螺紋副和第二螺紋副,所述第一螺紋副和所述第二螺紋副聯(lián)動設置,當所述第一螺紋副發(fā)生進給時,所述第二螺紋副相對所述第一螺紋副發(fā)生反向進給;
所述第一螺紋副的導程為t1,所述第二螺紋副的導程為t2,|t1-t2|<t2,且|t1-t2|≠0。
2.根據(jù)權利要求1所述的物鏡光闌桿微調裝置,其特征在于:
所述第一螺紋副包括固定設置的調節(jié)螺母(21),以及與所述調節(jié)螺母(21)螺紋連接的調節(jié)螺桿(22),所述調節(jié)螺桿(22)具有與所述調節(jié)螺母(21)配合的第一螺紋段(221)以及與所述第一螺紋段(221)導程不同的第二螺紋段(222);
所述第二螺紋副包括活動頂桿(23),所述活動頂桿(23)與所述第二螺紋段(222)配合連接,所述活動頂桿(23)用于與所述第二導向結構(10)接觸。
3.根據(jù)權利要求2所述的物鏡光闌桿微調裝置,其特征在于:所述調節(jié)螺桿(22)具有安裝腔,所述活動頂桿(23)插入所述安裝腔內并一端伸出所述安裝腔;所述第二螺紋段(222)設置在所述安裝腔的內壁上;所述第一螺紋段(221)設置在所述調節(jié)螺桿(22)的外壁上。
4.根據(jù)權利要求2或3所述的物鏡光闌桿微調裝置,其特征在于:所述調節(jié)螺母(21)的內壁上設置凹槽,所述凹槽與所述調節(jié)螺母(21)的一端開口連通,所述凹槽內設置有軸承(223),調節(jié)螺桿(22)穿過所述軸承(223)。
5.根據(jù)權利要求2所述的物鏡光闌桿微調裝置,其特征在于:所述活動頂桿(23)的外壁上沿軸向設置有直線導槽(231),還包括固定設置的固定銷(232),所述固定銷(232)插入所述直線導槽(231)中,以阻止所述活動頂桿(23)發(fā)生旋轉。
6.根據(jù)權利要求3所述的物鏡光闌桿微調裝置,其特征在于:所述活動頂桿(23)的伸出所述安裝腔的端部設置有開口,所述開口內設置有頂珠。
7.根據(jù)權利要求2所述的物鏡光闌桿微調裝置,其特征在于:所述補償組件(30)包括用于消除第一螺紋副之間螺紋配合誤差的第一補償組件,和用于消除第二螺紋副之間螺紋配合誤差的第二補償組件。
8.根據(jù)權利要求7所述的物鏡光闌桿微調裝置,其特征在于:所述第一補償組件包括設置在所述調節(jié)螺桿(22)的端部與所述調節(jié)螺母(21)之間的第一彈性件(33),所述第一彈性件(33)通過向調節(jié)螺母(21)施加與進給組件的進給方向同向的彈性擠壓力來消除所述第一螺紋副的螺紋配合誤差。
9.根據(jù)權利要求7所述的物鏡光闌桿微調裝置,其特征在于:所述第二補償組件包括固定設置的支撐座(31)和連接在所述支撐座(31)上的第二彈性件(32),所述第二彈性件(32)通過向所述第二導向結構(10)提供與進給組件的進給方向反向的彈性擠壓力來消除所述第二螺紋副的螺紋配合誤差。
10.根據(jù)權利要求9所述的物鏡光闌桿微調裝置,其特征在于:所述第二補償組件還包括連接在所述第二彈性件(32)自由端的導向柱(34),所述第二彈性件(32)為彈簧,所述導向柱(34)上設置有徑向凸緣,所述導向柱(34)的一端插入所述彈簧中并使得所述彈簧抵靠在所述徑向凸緣上,所述導向柱的另一端與所述第二導向結構(10)接觸。
11.根據(jù)權利要求1所述的物鏡光闌桿微調裝置,其特征在于:還包括調整座(40),調整座(40)包括水平部分(41)以及相對設置的兩個豎直部分(42),所述水平部分(41)和兩個所述豎直部分(42)形成安裝空間,所述第一導向結構位于所述安裝空間內并設置在水平部分(41)上,所述第二導向結構位于所述安裝空間內,所述進給組件(20)和所述補償組件安裝在兩個豎直部分(42)上。
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