[發明專利]一種激光干涉位移測量系統

有效

• 申請號: 201510367368.6
• 申請日: 2015-06-29
• 公開（公告）號: CN105004273B
• 公開（公告）日: 2017-06-16
• 發明（設計）人: 劉曉軍;李千;趙昊
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 華中科技大學專利中心42201
• 代理人: 廖盈春

1.一種激光干涉位移測量系統，包括激光器、第一偏振分光棱鏡、第一1/4波片、第一平面反射鏡、第二1/4波片，其特征在于，還包括起偏器、第一消偏振分光棱鏡、第二平面反射鏡、角錐鏡和第三平面反射鏡；

定義X軸與所述激光器出射的光束方向相同，Y軸垂直于X軸，X軸和Y軸所在的平面為P；

工作時，所述激光器發出的光束通過所述起偏器后變為與平面P成45°角的線偏振光；線偏振光經過所述第一消偏振分光棱鏡后，一部分沿X軸透射到達所述第一偏振分光棱鏡，另一部分沿Y軸反射；

由所述第一消偏振分光棱鏡到達所述第一偏振分光棱鏡的光束中，偏振方向垂直于平面P的分量穿過所述第一偏振分光棱鏡，沿X軸方向經過所述第一1/4波片到達所述第一平面反射鏡，被所述第一平面反射鏡反射后再經過所述第一1/4波片原路返回到所述第一偏振分光棱鏡，被所述第一偏振分光棱鏡的分光面反射后到達所述第二平面反射鏡，被所述第二平面反射鏡反射后原路返回至所述第一偏振分光棱鏡，經所述第一偏振分光棱鏡的分光面反射，再次經過所述第一1/4波片到達所述第一平面反射鏡，被所述第一平面反射鏡反射之后再經過所述第一1/4波片原路返回到所述第一偏振分光棱鏡中，從所述第一偏振分光棱鏡透射而出，此光束為參考光；

由所述第一消偏振分光棱鏡到達所述第一偏振分光棱鏡的光束中，偏振方向平行于平面P的分量被所述第一偏振分光棱鏡的分光面反射，沿Y軸方向經過所述第二1/4波片到達所述角錐鏡，依次被所述角錐鏡和所述第三平面反射鏡反射之后再經過所述角錐鏡和所述第二1/4波片原路返回到所述第一偏振分光棱鏡，由所述第一偏振分光棱鏡透射到所述第二平面反射鏡，被所述第二平面反射鏡反射后原路返回至所述第一偏振分光棱鏡，從所述第一偏振分光棱鏡透射之后，再次經過所述第二1/4波片到達所述角錐鏡，依次由所述角錐鏡和所述第三平面反射鏡反射之后再經過所述角錐鏡和所述第二1/4波片原路返回到所述第一偏振分光棱鏡，被所述第一偏振分光棱鏡的分光面反射而出，此光束為測量光。

2.如權利要求1所述的激光干涉位移測量系統，其特征在于，還包括第三1/4波片、第二消偏振分光棱鏡、第二偏振分光棱鏡、第三偏振分光棱鏡、第一光電探測器、第二光電探測器、第三光電探測器和第四光電探測器；

工作時，所述參考光與所述測量光一同進入所述第一消偏振分光棱鏡，被所述第一消偏振分光棱鏡的分光面反射后，經過所述第三1/4波片到達所述第二消偏振分光棱鏡；到達所述第二消偏振分光棱鏡的光被分為兩路相干光，這兩路相干光分別經過所述第二偏振分光棱鏡和所述第三偏振分光棱鏡，得到四路等光強、相位依次相差90°的干涉信號，這四路干涉信號分別被所述第一光電探測器、第二光電探測器、第三光電探測器和第四光電探測器接收。