[發(fā)明專(zhuān)利]一次性制備選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片的裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201510366822.6 | 申請(qǐng)日: | 2015-06-29 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN105023970B | 公開(kāi)(公告)日: | 2017-01-11 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 徐偉明;曹健 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 柳州蚊敵香業(yè)有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L31/18 | 分類(lèi)號(hào): | H01L31/18 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專(zhuān)利代理有限公司44202 | 代理人: | 溫旭 |
| 地址: | 545600 廣西壯族*** | 國(guó)省代碼: | 廣西;45 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一次性 制備 選擇性 發(fā)射極 太陽(yáng)能電池 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池片設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一次性制備選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片的裝置。
背景技術(shù)
目前太陽(yáng)能電池領(lǐng)域,通過(guò)制造選擇性發(fā)射極能夠提高太陽(yáng)能帶電池的效率已經(jīng)是本領(lǐng)域技術(shù)人員的常規(guī)選擇,越來(lái)越多的選擇性發(fā)射極制備技術(shù)出現(xiàn),包括掩膜重?fù)诫s法、磷漿法、回刻蝕法、激光摻雜法等諸多方法,其中一步法由于制造步驟簡(jiǎn)單已經(jīng)被研究得比較深,而一般太陽(yáng)能電池都需要制備表面電極及背電極,而且還包括利用互連帶將單個(gè)太陽(yáng)能電池串聯(lián)起來(lái),其中需要將太陽(yáng)能電池翻面。
將太陽(yáng)電池翻面時(shí)大多數(shù)時(shí)采用人工翻面,在人工翻面時(shí)容易污染太陽(yáng)能電池片并且容易導(dǎo)致碎片,而采用機(jī)器翻面時(shí)通常將太陽(yáng)能電池片從工位上利用翻轉(zhuǎn)臂翻轉(zhuǎn)180°至另一工位,這樣的機(jī)器占用的面積比較大,不能充分利用工廠資源,并且由于翻轉(zhuǎn)時(shí)的幅度較大,不容易控制,容易導(dǎo)致碎片。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于如何克服太陽(yáng)能電池片制備前后電極時(shí)翻轉(zhuǎn)時(shí)易碎片的問(wèn)題。
為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明提供了一次性制備選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片的裝置,包括抓持部、涂膠部,所述抓持部包括旋轉(zhuǎn)部和抓持臂,所述旋轉(zhuǎn)部具有在x軸、y軸和z軸方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)以及沿z軸和x軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),所述抓持臂與旋轉(zhuǎn)部相連并抓持太陽(yáng)能電池基片;所述涂膠部具有兩組刷膠孔,所述兩組刷膠孔分為高濃度摻雜劑導(dǎo)電漿料刷膠孔和低濃度摻雜劑導(dǎo)電漿料刷膠孔,所述高濃度摻雜劑導(dǎo)電漿料刷膠孔刷膠位置對(duì)應(yīng)太陽(yáng)電池片上選擇性發(fā)射極高摻雜部分,所述低濃度摻雜劑導(dǎo)電漿料刷膠孔對(duì)應(yīng)其它部分,所述兩組刷膠孔同時(shí)對(duì)太陽(yáng)能電池基片進(jìn)行刷膠。
進(jìn)一步地,所述涂膠部的兩組刷膠孔排列成一行,涂膠時(shí),所述抓持部抓持太陽(yáng)能電池基片使其保持水平并使太陽(yáng)能電池基片一邊與刷膠孔平行,所述抓持部沿垂直刷膠孔行方向水平運(yùn)動(dòng)。
進(jìn)一步地,所述抓持臂具有多個(gè)真空吸盤(pán)。
進(jìn)一步地,所述抓持臂通過(guò)所述真空吸盤(pán)從太陽(yáng)能電池基片背面吸附并抓取所述太陽(yáng)能電池基片。
進(jìn)一步地,所述抓持臂為指狀,所述指狀抓持臂之間的空隙用于印刷背面電極。
進(jìn)一步地,所述兩組刷膠孔中每一組刷膠孔具有獨(dú)立的控制開(kāi)關(guān)。
進(jìn)一步地,所述裝置還包括加熱機(jī)構(gòu),在刷膠完成后抓持部抓持所述太陽(yáng)能電池基片進(jìn)入加熱機(jī)構(gòu),所述加熱機(jī)構(gòu)對(duì)刷膠完成后的太陽(yáng)能電池基片進(jìn)行加熱。
進(jìn)一步地,所述裝置還包括水平測(cè)試儀,所述水平測(cè)試儀測(cè)試抓持部時(shí)的水平度。
進(jìn)一步地,所述裝置還包括膜厚測(cè)試機(jī)構(gòu),所述膜厚測(cè)試機(jī)構(gòu)測(cè)試刷膠后導(dǎo)電漿料的厚度。
進(jìn)一步地,涂膠部具有在平面上沿x軸移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu),在移動(dòng)時(shí)與所述抓持部沿x軸移動(dòng)的方向相對(duì)運(yùn)動(dòng)。
本發(fā)明的一次性制備選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片的裝置,具有如下有益效果:將太陽(yáng)能電池選擇性發(fā)射極制備與表面電極的制備直接結(jié)合,從而減小機(jī)器尺寸充分利用廠區(qū)空間,太陽(yáng)能電池片制備前后電極時(shí)翻轉(zhuǎn)時(shí)不會(huì)導(dǎo)致碎片。
附圖說(shuō)明
為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見(jiàn)地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其它附圖。
圖1是本發(fā)明的一次性制備選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片的裝置的側(cè)視圖;
圖2是本發(fā)明的一次性制備選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片的裝置的俯視圖;
圖3是抓持太陽(yáng)能電池基片后的一次性制備選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片的裝置的側(cè)視圖;
圖4是抓持太陽(yáng)能電池基片后的一次性制備選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片的裝置的俯視圖;
圖5是抓持太陽(yáng)能電池基片后一次性制備選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片的裝置初始狀態(tài)俯視圖;
圖6是抓持太陽(yáng)能電池基片后一次性制備選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片的裝置刷膠狀態(tài)俯視圖;
圖7是抓持太陽(yáng)能電池基片后一次性制備選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片的裝置初始狀態(tài)側(cè)視圖;
圖8是抓持太陽(yáng)能電池基片后一次性制備選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片的裝置刷膠狀態(tài)側(cè)視圖。
圖中:1-旋轉(zhuǎn)部,2-抓持臂,3-涂膠部,4-太陽(yáng)能電池基片。
具體實(shí)施方式
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專(zhuān)門(mén)適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專(zhuān)門(mén)適用于通過(guò)這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過(guò)該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





