[發明專利]一種磁性高精度微位移平臺及其使用方法

在審

• 申請號: 201510366013.5
• 申請日: 2015-06-29
• 公開（公告）號: CN104908013A
• 公開（公告）日: 2015-09-16
• 發明（設計）人: 張白;周春艷
• 申請（專利權）人: 北方民族大學
• 主分類號: B25H1/02
• 分類號: B25H1/02
• 代理公司: 四川力久律師事務所 51221
• 代理人: 林輝輪

1.一種磁性高精度微位移平臺，包括有支撐平臺和設置在所述支撐平臺上的位移裝置，其特征在于，所述支撐平臺上設置有第一位移件，所述第一位移件與所述位移裝置連接，所述位移裝置帶動所述第一位移件沿所述支撐平臺運動，所述第一位移件具有一相對于其位移方向傾斜的斜面，所述第一位移件的斜面上滑動設置有第二位移件，所述第一位移件與第二位移件之間貼緊配合，所述支撐平臺上還設置有約束裝置，所述約束裝置限制所述第二位移件沿所述第一位移件位移方向上的運動，使得當第一位移件被所述位移裝置帶動而產生位移時，所述第二位移件被所述第一位移件帶動而產生位移，所述第二位移件的位移方向與所述第一位移件的位移方向相垂直。

2.如權利要求1所述的磁性高精度微位移平臺，其特征在于，所述第一位移件的斜面與其位移方向的夾角為A度，0＞A＞45。

3.如權利要求1所述的磁性高精度微位移平臺，其特征在于，所述位移裝置為壓電陶瓷型位移裝置。

4.如權利要求1-3任意一項所述的磁性高精度微位移平臺，其特征在于，所述第一位移件與所述支撐平臺之間還設置有具有磁性的磁性件，所述第二位移件具有磁性，所述第二位移件與所述磁性件為異性相吸狀態。

5.如權利要求3所述的磁性高精度微位移平臺，其特征在于，所述磁性件與所述支撐平臺為一體式結構。

6.一種如權利要求1-5任意一項所述的磁性高精度微位移平臺的使用方法，其特征在于，包括下述步驟：

步驟一：通過約束裝置限制所述第二位移件沿第一位移件位移方向上的運動；

步驟二：將需要實現微位移的物體設置在第二位移件上，并通過所需微小位移的數值計算出第一位移件所需提供的位移值；

步驟三：控制位移裝置帶動第一位移件運動，使第一位移件得到步驟二中計算得到的第一位移件所需提供的位移值，使第二位移件得到所需的微小位移。