[發明專利]帶電粒子透鏡中的集成光學件和氣體輸送

在審

• 申請號: 201510365464.7
• 申請日: 2015-06-29
• 公開（公告）號: CN105321787A
• 公開（公告）日: 2016-02-10
• 發明（設計）人: N.W.帕克;M.斯特勞;J.菲列維奇;A.P.J.麥克洛波特曼;M.W.烏特勞特;S.蘭多爾夫;C.D.錢德勒
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: H01J37/12
• 分類號: H01J37/12;H01J37/147;H01J37/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 王岳;張懿

1.一種帶電粒子束柱組件，包括：

平臺，限定樣品保持位置；

一組靜電透鏡，每個包括一組電極，并且包括最后靜電透鏡，其包括最接近于樣品保持位置的最后電極；以及

其中，所述最后電極限定至少一個內部通路，其具有接近于且指向樣品保持位置的終點。

2.權利要求1的組件，其中，所述至少一個內部通路包括光通路和容納光檢測器的附加終點。

3.權利要求1的組件，其中，所述至少一個內部通路包括第一光通路，并且其中，所述最后電極除所述第一光通路之外還限定第二光通路。

4.權利要求3的組件，其中，所述第一光通路在光源中終止且所述第二光通路在光檢測器中終止。

5.權利要求1的組件，其中，所述至少一個內部通路是氣體通路和光通路兩者，并且包括與氣體源和光源兩者連通的終點。

6.權利要求1—5中的任一項的組件，其中，所述最后電極由金屬制成，并且其中，所述至少一個內部通路采取金屬中的管狀空隙空間的形式。

7.權利要求6的組件，其中，金屬包括鈦合金。

8.權利要求6的組件，其中，空隙空間的表面被拋光以增加反射。

9.權利要求1—5中的任一項的組件，其中，光管延伸通過所述至少一個內部通路。

10.權利要求1—5中的任一項的組件，其中，所述至少一個內部通路包括氣體通路，并且包括連接到氣體源的附加終點。

11.權利要求10的組件，其中，所述至少一個內部通路包括第一氣體通路，并且其中，所述最后電極除所述第一氣體通路之外還定義第二氣體通路。

12.權利要求11的組件，其中，所述第一氣體通路在氣體源中終止且所述第二氣體通路在氣體檢測器中終止。

13.權利要求11的組件，其中所述第一氣體通路在第一氣體源中終止且所述第二氣體通路在第二氣體源中終止。

14.一種將光指引到如此接近于板電極使得在板電極下面不存在到可行光源位置的傾斜通路的預定樣品位置的方法，包括：

提供通過板電極至預定樣品位置的光路徑；以及

向光路徑中發射光。

15.權利要求14的方法，其中，向預定樣品位置提供附加光路徑，并且其中，該方法還包括通過附加光路徑從樣品接收光。

16.權利要求14或權利要求15的方法，其中，所述光路徑是具有拋光表面的內部空隙，并且其中，所述光隨著其行進到所述樣品而從所述拋光表面反射。

17.權利要求14或權利要求15的方法，其中，最后電極由鈦合金制成。

18.權利要求14或權利要求15的方法，其中，提供至少一個附加光路徑，并且其中，向所述至少一個附加光路徑中發射光。

19.一種將氣體指引到如此接近于板電極使得在板電極下面不存在到可行光源位置的傾斜通路的預定樣品位置的方法，包括：

提供通過板電極至預定樣品位置的氣體通路；以及

向氣體通路中發射氣體。

20.權利要求19的方法，其中，氣體通路是第一氣體通路，并且其中，氣體是第一氣體，并且此外其中，通過板電極提供到預定樣品位置的第二氣體通路，并且使第二氣體通過第二氣體通路。