[發明專利]基于光纖光柵微腔的FPI氫氣傳感器

在審

• 申請號: 201510362724.5
• 申請日: 2015-06-24
• 公開（公告）號: CN104931431A
• 公開（公告）日: 2015-09-23
• 發明（設計）人: 趙春柳;時菲菲;吳彬青
• 申請（專利權）人: 中國計量學院
• 主分類號: G01N21/25
• 分類號: G01N21/25;G01N21/45
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.基于光纖光柵微腔的FPI氫氣傳感器，其特征在于：由寬帶光源，單模傳輸光纖，鍍有Pt/WO₃膜的光纖光柵微腔FPI傳感頭，氣室，光譜儀構成傳感測量系統；寬帶光源的輸出端與單模傳輸光纖相連，單模傳輸光纖與處于氣室內的鍍有Pt/WO₃膜的光纖光柵微腔FPI傳感頭的輸入端相連，鍍有Pt/WO₃膜的光纖光柵微腔FPI傳感頭的輸出端與單模傳輸光纖相連，單模傳輸光纖與光譜儀相連；

所述光纖光柵微腔FPI傳感頭由光纖光柵、Pt/WO₃膜和微腔組成，光纖光柵使用布拉格光纖光柵，微腔加工在光纖光柵中間位置，微腔的寬度在35μm～45μm之間，深度在66.6μm～76μm之間，形成FPI結構，Pt/WO₃膜的厚度在100nm～120nm之間；隨著氫氣濃度的變化，Pt/WO₃膜與氫氣發生反應，使膜的折射率發生變化，會改變FP腔的長度，在此結構中，特定波長的光被反射，其余透射光的相位在FP腔中發生改變，從而干涉波峰的位置發生變化，通過測量干涉峰位置的變化，就可以測得氫氣的濃度；光譜儀作為信號解調部分。