[發明專利]一種測量透明球形空腔容器厚度的方法

在審

• 申請號: 201510361898.X
• 申請日: 2015-06-26
• 公開（公告）號: CN104964650A
• 公開（公告）日: 2015-10-07
• 發明（設計）人: 王曉雷;李宏勛;朱博文
• 申請（專利權）人: 南開大學
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 天津佳盟知識產權代理有限公司 12002
• 代理人: 劉書元

1.一種測量透明球形空腔容器厚度的方法，包括由氦氖激光器、擴束系統、半透半反鏡、小孔光闌、載物臺、接收屏、測量導軌組成的測量系統，以及透明球形空腔容器樣品，其特征在于：該測量方法包括以下步驟：

第1、打開激光器后，對光束進行調平保證其與抗震臺表面平行，并通過擴束系統對光束進行擴束；

第2、使光束通過半透半反鏡，調節半透半反鏡使激光束垂直入射到透明球形空腔容器樣品；

第3、保持接收屏與入射光線垂直，使透明球形空腔容器內、外表面的反射光經半透半反鏡后在接收屏處形成干涉條紋圖樣，同時保持入射光束與接收屏上記錄條紋位置等高；

第4、調節測量導軌，記錄干涉環形條紋半徑，并根據反射光的條紋圖案和透明球形空腔容器厚度之間的關系式求得透明球形空腔容器厚度。

2.如權利1所述的透明球形空腔容器厚度的測量方法，其特征在于：所述的測量系統中，氦氖激光器作為光源；擴束系統由兩個透鏡組成，將光束擴束以便增大干涉區域；半透半反鏡用于實現光路的轉折，同時便于接收垂直入射光束的反射光；小孔光闌用于濾除強度較弱的邊緣光束和雜散光；透明球形空腔容器樣品置于載物臺上，其內、外表面的反射光產生干涉；接收屏用于接收干涉圖樣；導軌用于測量環形條紋的半徑。

3.如權利1所述的透明球形空腔容器厚度的測量方法，其特征在于：第四步中反射光的條紋圖案和透明球形空腔容器厚度之間的關系式為其中h為透明球形空腔容器厚度，N為所得兩條圓形條紋所對應的入射角和它們之間間隔的條紋數目，n為介質層的折射率，i為入射角。

4.如權利1所述的透明球形空腔容器厚度的測量方法，其特征在于：所述的接收屏與入射光方向垂直。