[發明專利]NOx傳感器的基于納秒-皮秒-飛秒激光復合技術的3D打印制備方法在審
| 申請號： | 201510356921.6 | 申請日： | 2015-06-25 |
| 公開（公告）號： | CN105014769A | 公開（公告）日： | 2015-11-04 |
| 發明（設計）人： | 劉勝;付興銘;劉亦杰;鄭懷;楊軍;曹鋼;吳登峰 | 申請（專利權）人： | 武漢大學;武漢飛恩微電子有限公司 |
| 主分類號： | B28B1/00 | 分類號： | B28B1/00;B28B17/00;C04B35/64 |
| 代理公司： | 武漢科皓知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 張火春 |
| 地址： | 430072 湖*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | no sub 傳感器 基于 激光 復合 技術 打印 制備 方法 | ||
1.一種NOx傳感器的基于納秒-皮秒-飛秒激光復合技術的3D打印制備方法，其特征在于：包括如下步驟：
（1）在工作平臺上鋪設原材料粉末并預熱；
（2）采用納秒激光對工作平臺上的原料進行燒結熔化，同時采用實時監控系統檢測傳感器各打印層結構的精度；
（3）依次反復重復步驟（1）和（2），直到完成NOx傳感器的制備。
2.根據權利要求1所述一種NOx傳感器的基于納秒-皮秒-飛秒激光復合技術的3D打印制備方法，其特征在于：步驟（2）中還包括采用集成的光纖激光器提供皮秒激光或飛秒激光對傳感器進行精加工。
3.根據權利要求2所述一種NOx傳感器的基于納秒-皮秒-飛秒激光復合技術的3D打印制備方法，其特征在于：所述光纖激光器最小可加工特征尺寸小于1um，精度為0.1nm。
4.根據權利要求1或2所述一種NOx傳感器的基于納秒-皮秒-飛秒激光復合技術的3D打印制備方法，其特征在于：所述NOx傳感器包括氧化鋯基體，所述氧化鋯基體的上表面設有外電極，氧化鋯基體內部從上到下依次設有腔室層、空氣通道和加熱器；所述腔室層包括第一腔室、第二腔室和第三腔室，第一腔室和第二腔室間設有第一阻擋層，第二腔室和第三腔室間設有第二阻擋層，第三腔室為半封閉；所述第一腔室的頂部設有第一泵氧電極，底部設有測試電極，第二腔室的頂部設有第二泵氧電極；所述空氣通道的頂部設有參比電極。
5.根據權利要求4所述一種NOx傳感器的基于納秒-皮秒-飛秒激光復合技術的3D打印制備方法，其特征在于：所述氧化鋯基體材料為YSZ。
6.根據權利要求4或5所述一種NOx傳感器的基于納秒-皮秒-飛秒激光復合技術的3D打印制備方法，其特征在于：所述第一泵氧電極和第二泵氧電極的材料為鉑、氧化釕或氧化鉬。
7.根據權利要求4或5所述一種NOx傳感器的基于納秒-皮秒-飛秒激光復合技術的3D打印制備方法，其特征在于：所述測試電極的材料為鉑、氧化釕或氧化鉬。
8.根據權利要求3所述一種NOx傳感器的基于納秒-皮秒-飛秒激光復合技術的3D打印制備方法，其特征在于：所述加熱器的材料為鉑。
9.根據權利要求3所述一種NOx傳感器的基于納秒-皮秒-飛秒激光復合技術的3D打印制備方法，其特征在于：所述實時監控系統包括紅外攝像儀、掃描電鏡、X射線衍射儀中的一種或幾種。
10.根據權利要求3或8或9所述一種NOx傳感器的基于納秒-皮秒-飛秒激光復合技術的3D打印制備方法，其特征在于：所述NOx的3D打印的順序為從上到下或從下到上。
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