[發(fā)明專利]抗蝕劑剝離劑組合物和利用其剝離抗蝕劑的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510345979.0
• 申請(qǐng)日: 2015-06-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105204301B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-10-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李喻珍;金圣植;房淳洪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東友精細(xì)化工有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/42
• 分類號(hào): G03F7/42
• 代理公司: 北京市中倫律師事務(wù)所 11410
• 代理人: 石寶忠

1.一種抗蝕劑剝離劑組合物，其包含：40至55重量％的丙酰胺化合物；35至55重量％的伯醇；和0.1至20重量％的具有1至10個(gè)碳原子的烷醇胺，

其中，所述伯醇是選自包含以下物質(zhì)的組中的至少一種：四氫糠醇，羥甲基環(huán)戊烯，4-羥甲基-1,3-二氧戊環(huán)，2-甲基-4-羥甲基-1,3-二氧戊環(huán)，2,2-二甲基-1,3-二氧戊環(huán)-4-甲醇，2-甲氧基乙醇，乙二醇單甲醚，乙二醇單乙醚，乙二醇單異丙醚，乙二醇單丁醚，二乙二醇單甲醚，二乙二醇單乙醚，二乙二醇單異丙醚，二乙二醇單丁醚，三乙二醇單甲醚，三乙二醇單乙醚，三乙二醇單異丙醚，三乙二醇單丁醚，聚乙二醇單甲醚，聚乙二醇單丁醚，異丙醇和糠醇。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中所述丙酰胺化合物是選自包含3-甲氧基-N,N-二甲基丙酰胺、3-(2-乙基己氧基)-N,N-二甲基丙酰胺和3-丁氧基-N,N-二甲基丙酰胺的組中的至少一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中所述烷醇胺是選自包含以下物質(zhì)的組中的至少一種：?jiǎn)我掖及罚掖及罚掖及罚瑔伪及罚?-(乙氨基)乙醇，2-(甲氨基)乙醇，N-甲基二乙醇胺，N,N-二甲基乙醇胺，N,N-二乙氨基乙醇，2-(2-氨基乙氨基)-1-乙醇，1-氨基-2-丙醇，2-氨基-1-丙醇，3-氨基-1-丙醇，4-氨基-1-丁醇，二丁醇胺，(甲氧基甲基)二乙醇胺，(羥基乙氧基甲基)二乙胺，甲基(甲氧基甲基)氨基乙醇，甲基(丁氧基甲基)氨基乙醇，2-(2-氨基乙氧基)乙醇，1-(2-羥乙基)哌嗪，1-(2-羥乙基)甲基哌嗪，N-(2-羥乙基)嗎啉和N-(3-羥丙基)嗎啉。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其還包含選自包含唑類化合物、醌類化合物、具有1至20碳原子烷基的烷基沒(méi)食子酸酯類化合物、和有機(jī)酸酰胺酯類化合物的組的抗腐蝕劑。

5.一種剝離抗蝕劑的方法，所述方法包括：利用權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的剝離劑組合物，剝離在蝕刻過(guò)程之后，在其上具有沉積的導(dǎo)電金屬膜的襯底之上殘留的抗蝕劑殘余物。

6.一種制造圖像顯示裝置的方法，所述方法包括權(quán)利要求5所述的抗蝕劑剝離方法。