[發(fā)明專利]離子注入的測(cè)量方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201510345847.8 | 申請(qǐng)日： | 2015-06-18 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106324654B | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-04-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 肖志強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01T1/29 | 分類號(hào)： | G01T1/29;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京市磐華律師事務(wù)所 11336 | 代理人： | 董巍;高偉 |
| 地址： | 201203 *** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 離子 注入 測(cè)量方法 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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