[發明專利]等離子體橋式中和一體化的直流離子束光學拋光裝置有效
| 申請號： | 201510344966.1 | 申請日： | 2015-06-19 |
| 公開（公告）號： | CN105150048B | 公開（公告）日： | 2017-10-13 |
| 發明（設計）人： | 解旭輝;戴一帆;周林;鹿迎;李圣怡;徐明進 | 申請（專利權）人： | 中國人民解放軍國防科學技術大學 |
| 主分類號： | B24B13/00 | 分類號： | B24B13/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘專利事務所(普通合伙)43008 | 代理人： | 趙洪,鐘聲 |
| 地址： | 410073 湖南省長沙市硯瓦池正街47*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子體 中和 一體化 直流 離子束 光學 拋光 裝置 | ||
1.一種等離子體中和一體化的直流離子束光學拋光裝置，包括離子源（1）和等離子體中和器（2），其特征在于：所述拋光裝置還包括固定安裝于離子源（1）上的盤狀蓋板（3），所述等離子體中和器（2）安裝在盤狀蓋板（3）內端面上，所述等離子體中和器（2）的噴口（20）正對離子源（1）的離子束的軸線，所述等離子體中和器（2）包括電子發生器（21）和保持器（22），所述噴口（20）位于保持器（22）上，電子發生器（21）的一端設有噴嘴（211），所述噴嘴（211）與噴口（20）同軸布置，所述盤狀蓋板（3）內端面設有與盤狀蓋板（3）同軸的C形凸臺（31），所述保持器（22）設于所述C形凸臺（31）的開口處，且位于噴嘴（211）的前方。
2.根據權利要求1所述的等離子體中和一體化的直流離子束光學拋光裝置，其特征在于：所述盤狀蓋板（3）上設有一夾持套管（4），所述電子發生器（21）遠離噴嘴（211）的一端插入所述夾持套管（4）內。
3.根據權利要求2所述的等離子體中和一體化的直流離子束光學拋光裝置，其特征在于：所述夾持套管（4）通過第一螺栓（41）固定在盤狀蓋板（3）上，所述第一螺栓（41）上設有絕緣套，所述夾持套管（4）與盤狀蓋板（3）之間設有絕緣墊片，所述夾持套管（4）與電路接線端子之間通過第一螺栓（41）的螺帽壓緊。
4.根據權利要求1所述的等離子體中和一體化的直流離子束光學拋光裝置，其特征在于：所述電子發生器（21）上設有鎢絲（212），所述鎢絲（212）一端通過第二螺栓（5）固定在盤狀蓋板（3）上，所述鎢絲（212）與電路接線端子之間通過第二螺栓（5）的螺帽壓緊，所述第二螺栓（5）上設有絕緣套。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的等離子體中和一體化的直流離子束光學拋光裝置，其特征在于：所述保持器（22）上設有可控制保持器（22）沿盤狀蓋板（3）徑向移動的腰型孔（221），所述腰型孔（221）內設有陶瓷螺栓（6），所述保持器（22）與電路接線端子之間通過陶瓷螺栓（6）的螺帽壓緊。
6.根據權利要求1至4中任一項所述的等離子體中和一體化的直流離子束光學拋光裝置，所述盤狀蓋板（3）通過鎖緊螺栓（32）安裝在所述離子源（1）的聚焦離子光學系統（11）上。
7.根據權利要求1至4中任一項所述的等離子體中和一體化的直流離子束光學拋光裝置，其特征在于：所述離子源（1）的聚焦離子光學系統（11）上設有用于所述盤狀蓋板（3）對中的對中凸臺（111）。
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