[發明專利]Chernin型多光程氣體吸收腔的四物鏡組定位方法

有效

• 申請號: 201510342251.2
• 申請日: 2015-06-18
• 公開（公告）號: CN105785551B
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發明（設計）人: 郭崟;孫利群;劉子龍
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G02B7/182
• 分類號: G02B7/182
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司11018
• 代理人: 梁少微,王麗琴

1.一種Chernin型多光程氣體吸收腔的四物鏡組定位方法，該方法包括：

對母球面反射鏡進行切割，形成四物鏡組的四個子球面反射鏡；

根據各子球面反射鏡目標曲率中心坐標之間具有相對共軛的位置關系，確定各子球面反射鏡的目標曲率中心坐標；

將每個子球面反射鏡平移至各自對應的目標曲率中心坐標點。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述Chernin型多光程氣體吸收腔的兩端分別相對設置有四物鏡組和凸型場鏡組，所述凸型場鏡組包括球面頂點坐標垂直分布的第一凹面反射鏡和第二凹面反射鏡，以第一凹面反射鏡的球面頂點坐標作為坐標系原點建立全局笛卡爾坐標系，所述第一凹面反射鏡的球面頂點坐標與母球面反射鏡的曲率中心坐標重合；所述第二凹面反射鏡的曲率中心平分第一子球面反射鏡孔徑中心和第三子球面反射鏡的孔徑中心的連線；

所述根據各子球面反射鏡目標曲率中心坐標之間具有相對共軛的位置關系，確定各子球面反射鏡的目標曲率中心坐標包括：

將第一子球面反射鏡的目標曲率中心坐標確定為C_M1(w，c)；將第二子球面反射鏡的目標曲率中心坐標確定為C_M2(w，-c)；將第三子球面反射鏡的目標曲率中心坐標確定為C_M3(-w，c)；將第四子球面反射鏡的目標曲率中心坐標確定為C_M4(-w，-c)。

3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，定義所切割的第一子球面反射鏡至第四子球面反射鏡的孔徑中心坐標參數分別為M₁(x₁',y₁')、M₂(-x₂',-y₂')、M₃(-x₃',y₃')、M₄(x₄',-y₄')；定義將第一子球面反射鏡至第四子球面反射鏡平移到達各自對應的目標曲率中心坐標點時，其孔徑中心坐標參數分別為M₁(x₁,y₁)、M₂(-x₂,-y₂)、M₃(-x₃,y₃)、M₄(x₄,-y₄)；

所述切割的孔徑中心坐標參數與平移后的孔徑中心坐標參數滿足以下公

式：

x′₁＝x₁-w

-x₂′＝-w-x₂

-x₃′＝w-x₃

x₄′＝x₄+w

y₁′＝y₁-c

-y₂′＝c-y₂

y₃′＝y₃-c

-y₄′＝c-y₄。