[發明專利]掩膜版異物清除方法及掩膜版異物清除裝置有效
| 申請號： | 201510341886.0 | 申請日： | 2015-06-18 |
| 公開（公告）號： | CN106311681B | 公開（公告）日： | 2019-10-29 |
| 發明（設計）人： | 胡友元 | 申請（專利權）人： | 上海和輝光電有限公司 |
| 主分類號： | B08B7/00 | 分類號： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 吳俊 |
| 地址： | 201506 上海市金山區*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 掩膜版 異物 清除 方法 裝置 | ||
【權利要求書】：
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