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[發明專利]雙路線偏振干涉和雙渥拉斯特棱鏡分光式零差激光測振儀有效

專利信息
申請號: 201510341862.5 申請日: 2015-06-12
公開(公告)號: CN104897047B 公開(公告)日: 2017-11-10
發明(設計)人: 譚久彬;何張強;崔俊寧 申請(專利權)人: 哈爾濱工業大學
主分類號: G01B9/02 分類號: G01B9/02;G01H9/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 150001 黑龍*** 國省代碼: 黑龍江;23
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摘要:
搜索關鍵詞: 正交 誤差 路線 偏振 干涉 雙渥拉斯特 棱鏡 分光 式零差 激光 測振儀
【權利要求書】:

1.一種無正交誤差的雙路線偏振干涉和雙渥拉斯特棱鏡分光式零差激光測振儀,由干涉部分(13)和探測部分(14)組成,其特征在于:所述干涉部分(13)由激光器(1)、第一消偏振分光鏡(3)、測量鏡(4)、第二四分之一波片(5)、參考鏡(6)組成;激光器(1)發出線偏振光,經第一消偏振分光鏡(3)進行分光,反射光形成第一光束(15)作為測量光,透射光形成第二光束(16)作為參考光;第一光束(15)經測量鏡(4)反射后,再經第一消偏振分光鏡(3)反射形成第三光束(17)和透射形成第四光束(18);第二光束(16)經過第二四分之一波片(5)后變成圓偏振光,經參考鏡(6)反射后再次經過第二四分之一波片(5)變成線偏振光,然后經第一消偏振分光鏡(3)透射形成第五光束(19)和反射形成第六光束(20);第三光束(17)、第五光束(19)為光路重合、且偏振方向正交的線偏振光,第四光束(18)、第六光束(20)為光路重合、且偏振方向正交的線偏振光;所述探測部分由第一四分之一波片(2)、第一渥拉斯特棱鏡(7)、第二渥拉斯特棱鏡(8)、第一光電探測器(9)、第二光電探測器(10)、第三光電探測器(11)和第四光電探測器(12)組成,第三光束(17)、第五光束(19)經第一渥拉斯特棱鏡(7)分成第一o光(21)、第一e光(22),分別被第一光電探測器(9)、第二光電探測器(10)接收;第四光束(18)、第六光束(20)先經第一四分之一波片(2)后,被第二渥拉斯特棱鏡(8)分成第二o光(23)、第二e光(24),分別被第三光電探測器(11)、第四光電探測器(12)接收。

2.根據權利要求1所述的無正交誤差的雙路線偏振干涉和雙渥拉斯特棱鏡分光式零差激光測振儀,其特征在于:所述激光器(1)為穩頻激光器。

3.根據權利要求1所述的無正交誤差的雙路線偏振干涉和雙渥拉斯特棱鏡分光式零差激光測振儀,其特征在于:所述測量鏡(4)、參考鏡(6)為角錐反射鏡。

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