[發明專利]有機場效應晶體管的生物安全柔性光敏傳感器及制備方法

有效

• 申請號: 201510341003.6
• 申請日: 2015-06-18
• 公開（公告）號: CN104934513B
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發明（設計）人: 黃佳;吳小晗;褚瑩莉;杜鵑
• 申請（專利權）人: 同濟大學
• 主分類號: H01L33/44
• 分類號: H01L33/44;H01L33/02
• 代理公司: 上海科盛知識產權代理有限公司31225
• 代理人: 陳亮

1.一種有機場效應晶體管的生物安全柔性光敏傳感器，其特征在于，包括：

作為介電層的聚乳酸薄膜，

在聚乳酸薄膜底部蒸鍍的金薄膜作為柵電極，

在聚乳酸薄膜頂部蒸鍍有機半導體層作為導電層，該有機半導體層的材質為二萘并噻吩酮，

在導電層頂部蒸鍍相互隔絕的金薄膜作為源極和漏極。

2.根據權利要求1所述的一種有機場效應晶體管的生物安全柔性光敏傳感器，其特征在于，所述的聚乳酸薄膜厚度為1-5μm。

3.根據權利要求1所述的一種有機場效應晶體管的生物安全柔性光敏傳感器，其特征在于，作為柵電極的金薄膜厚度為50-100nm。

4.根據權利要求1所述的一種有機場效應晶體管的生物安全柔性光敏傳感器，其特征在于，所述的有機半導體層的厚度為50-100nm。

5.根據權利要求1所述的一種有機場效應晶體管的生物安全柔性光敏傳感器，其特征在于，所述的源極和漏極之間的距離為10-500μm。

6.如權利要求1-5中任一項所述的有機場效應晶體管的生物安全柔性光敏傳感器的制備方法，其特征在于，該方法采用以下步驟：

a)基底的清潔處理：使用丙酮，異丙醇依次超聲清洗硅片基底，然后用無水乙醇和去離子水沖洗，最后用氮氣吹干襯底表面；

b)基底的表面防粘處理：將體積濃度為1-5％的十三氟-1,1,2,2-四氫辛烷-三氯硅烷在氯仿中的溶液旋涂到上述洗凈的硅片表面作為防粘層；

c)在7×10^-4Pa的真空下將金熱蒸鍍到硅片上形成柵電極；

d)將c)的產物豎直置于50g/L的聚乳酸氯仿溶液中，以15μm/s的速率緩慢提拉離開溶液表面，得到作為OFET介電層的聚乳酸薄膜；

e)在7×10^-4Pa的真空下，將二萘并噻吩酮熱蒸發到上述聚乳酸薄膜上；

f)使用c)相同的方法，利用掩膜版遮擋的方式將金熱蒸鍍到e)的產物上，作為OFET的源極與漏極電極；

g)將聚乳酸薄膜從有十三氟-1,1,2,2-四氫辛烷-三氯硅烷處理的硅片上揭下，得到柔性光敏傳感器。