[發明專利]抗偏振混疊的單路圓偏振干涉和單渥拉斯特棱鏡分光式零差激光測振儀

有效

• 申請號: 201510340554.0
• 申請日: 2015-06-12
• 公開（公告）號: CN104913838A
• 公開（公告）日: 2015-09-16
• 發明（設計）人: 崔俊寧;何張強;譚久彬
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G01H9/00
• 分類號: G01H9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種抗偏振混疊的單路圓偏振干涉和單渥拉斯特棱鏡分光式零差激光測振儀，由干涉部分(13)和探測部分(14)組成，其特征在于：所述干涉部分(13)由激光器(1)、第一四分之一波片(2)、第一消偏振分光鏡(3)、測量鏡(4)、第二四分之一波片(5)和參考鏡(6)組成；激光器(1)發出線偏振光，經第一四分之一波片(2)后變成圓偏振光，再經第一消偏振分光鏡(3)進行分光，反射光形成第一光束(15)作為測量光，透射光形成第二光束(16)作為參考光；第一光束(15)經測量鏡(4)反射后，再經第一消偏振分光鏡(3)透射形成第三光束(17)；第二光束(16)經過第二四分之一波片(5)后變成線偏振光，經參考鏡(6)反射后再次經過第二四分之一波片(5)變成圓偏振光，然后經第一消偏振分光鏡(3)反射形成第四光束(18)；第三光束(17)、第四光束(18)為光路重合、且偏振方向正交的圓偏振光；所述探測部分(14)由第二消偏振分光鏡(25)、第一反射鏡(26)、第二反射鏡(27)、渥拉斯特棱鏡(7)、第三四分之一波片(8)、第一光電探測器(9)、第二光電探測器(10)、第三光電探測器(11)和第四光電探測器(12)組成；第三光束(17)、第四光束(18)經第二消偏振分光鏡(25)透射形成第五光束(19)和反射形成第六光束(20)；第五光束(19)被第一反射鏡(26)反射后，先經第三四分之一波片(8)后，被渥拉斯特棱鏡(7)分成第一o光(21)、第一e光(22)，分別被第一光電探測器(9)、第二光電探測器(10)接收；第六光束(20)經第二反射鏡(27)反射后，被渥拉斯特棱鏡(7)分成第二o光(23)、第二e光(24)，分別被第三光電探測器(11)、第四光電探測器(12)接收。

2.根據權利要求1所述的抗偏振混疊的單路圓偏振干涉和單渥拉斯特棱鏡分光式零差激光測振儀，其特征在于：所述激光器(1)為穩頻激光器。

3.根據權利要求1所述的抗偏振混疊的單路圓偏振干涉和單渥拉斯特棱鏡分光式零差激光測振儀，其特征在于：所述測量鏡(4)、參考鏡(6)為平面反射或角錐反射鏡。

4.根據權利要求1所述的抗偏振混疊的單路圓偏振干涉和單渥拉斯特棱鏡分光式零差激光測振儀，其特征在于：所述第一、二反射鏡(26、27)為平面鏡或直角棱鏡。