[發明專利]適合氧化鎵襯底基片拋光的專用拋光液及其制備方法

有效

• 申請號: 201510335344.2
• 申請日: 2015-06-16
• 公開（公告）號: CN105038606B
• 公開（公告）日: 2017-06-09
• 發明（設計）人: 黃傳錦;周海;顧斌;劉道標;惠學芹;吳進
• 申請（專利權）人: 鹽城工學院
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司32103
• 代理人: 范晴,程東輝

1.一種適合氧化鎵襯底基片拋光的專用拋光液，其特征在于它由以下質量份的原料制成：

所述硅溶膠乳液中二氧化硅的粒徑為15nm，二氧化硅的質量濃度為40％；

所述絡合劑選自葡萄糖酸鈉、乳酸鈉、庚糖酸鈉、海藻酸鈉、檸檬酸鈉、乙二胺四乙酸二鈉、乙二胺四乙酸四鈉、六偏磷酸鈉、焦磷酸鈉、三聚磷酸鈉、二乙烯三胺五羧酸鹽、氨三乙酸鈉、乙二胺四甲叉磷酸鈉和二乙烯三胺五甲叉磷酸鹽中的任意一種或兩種以上混合物；

所述pH值調節劑選自氫氧化鈉、氫氧化鉀、氨水、甲胺、一甲胺、二甲胺、三甲胺、乙胺、一乙胺、二乙胺、三乙胺、乙醇胺、一乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、正丙醇胺、異丙醇胺、二異丙醇胺、三異丙醇胺、丁胺、1-乙基丁胺、1,3-二氨基丙烷、二正丙胺、二正丁胺、4,4'-二氨基二苯胺、二甲基乙胺、二乙基甲胺、三乙胺、三丁胺、乙二胺、三乙烯四胺、四乙烯五胺、甲基二乙醇胺、二乙烯三胺、羥胺、烷基二乙醇胺、環己胺、嗎啉、苯基嗎啉、二-(2-乙基己基)胺、二正丁胺、一戊胺、二戊胺、二辛胺、一乙醇胺水楊酸鹽、二-β-萘基-對苯二胺、芐胺和1,3-丙二胺中的任意一種或兩種以上混合物；

所述pH穩定劑選自甲胺、一甲胺、二甲胺、三甲胺、乙胺、一乙胺、二乙胺、三乙胺、乙醇胺、一乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、正丙醇胺、異丙醇胺、二異丙醇胺、三異丙醇胺、丁胺、1-乙基丁胺、1,3-二氨基丙烷、二正丙胺、二正丁胺、4,4'-二氨基二苯胺、二甲基乙胺、二乙基甲胺、三乙胺、三丁胺、乙二胺、三乙烯四胺、四乙烯五胺、甲基二乙醇胺、二乙烯三胺、羥胺、烷基二乙醇胺、環己胺、嗎啉、苯基嗎啉、二-(2-乙基己基)胺、二正丁胺、一戊胺、二戊胺、二辛胺、一乙醇胺水楊酸鹽、二-β-萘基-對苯二胺、芐胺和1,3-丙二胺中的任意一種或兩種以上的混合物；

所述的表面活性劑選自脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸鈉、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸銨、脂肪醇聚氧乙烯醚磺基琥珀酸單酯二鈉、脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚(7)磺酸鈉、二辛基磺基琥珀酸二鈉、二-2-乙基己基磺基琥珀酸鈉、月桂基硫酸鈉、月桂基硫酸鉀、十二烷基苯硫酸鹽、α-烯烴磺酸鹽、木質素磺酸鹽、全氟辛烷磺酸鹽、全氟丁烷磺酸鹽、辛基酚聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、脂肪酸聚氧乙烯醚、聚氧乙烯脫水山梨醇單油酸酯、和硬脂酸甲酯聚氧乙烯醚(7)中的任意一種或兩種以上的混合物；

所述消泡劑選自有機硅油類、礦物油類和聚醚類中的任意一種或兩種以上的混合物。

2.根據權利要求1所述的適合氧化鎵襯底基片拋光的專用拋光液，其特征在于：所述絡合劑為乙二胺四乙酸二鈉或乙二胺四乙酸四鈉，所述pH值調節劑為氫氧化鈉，所述pH穩定劑為三乙醇胺，所述表面活性劑為辛基酚聚氧乙烯醚(10)，所述消泡劑為有機硅油。

3.根據權利要求2所述的適合氧化鎵襯底基片拋光的專用拋光液，其特征在于它由以下質量份的原料制成：

4.根據權利要求2所述的適合氧化鎵襯底基片拋光的專用拋光液，其特征在于它由以下質量份的原料制成：