[發明專利]一種新型抗沖擊分子泵轉子

在審

• 申請號: 201510334620.3
• 申請日: 2015-06-17
• 公開（公告）號: CN104929978A
• 公開（公告）日: 2015-09-23
• 發明（設計）人: 陳林;張智明;鄭榮禧;王秀娟
• 申請（專利權）人: 川北真空科技(北京)有限公司
• 主分類號: F04D29/32
• 分類號: F04D29/32;F04D19/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明屬于流體機械技術領域，廣泛應用于光伏、照明、半導體、能源、軍工等獲得真空的一種新型抗沖擊分子泵轉子。

背景技術

在做機械運動的各類真空泵中，分子泵是一種結構縝密，工藝要求高的泵，最早是在1911年由德國人蓋德(W·Gaede)發明的，其原理是靠高速運動的剛體表面傳遞給氣體分子以動量，使氣體分子在鋼體表面的運動方向上產生定向流動，從而達到抽氣的目的。通常把用高速運動的鋼體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運動的現象稱為分子牽引現象。因此，人們將蓋德發明的分子泵稱為牽引分子泵。

1958年，聯邦德國的W.貝克首次提出有實用價值的渦輪分子泵。渦輪分子泵是由一系列動靜相間的葉輪互相配合組成。每個葉輪的葉輪與葉輪水平面成一定角度，動片和靜片傾角方向相反。主軸帶動葉輪在靜止的定葉輪間高速旋轉，高速旋轉的葉輪將動量傳遞給氣體分子并使其產生定向運動，實現抽氣目的。

蓋德牽引泵在分子流態下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適用于抽除較重的氣體，但存在抽速小、工作可靠性差、易出故障的特點。渦輪分子泵則存在加工多級動靜葉輪工藝復雜、對顆粒物敏感、維護費用高的特點。隨著科技的發展，一種結合了牽引分子泵與渦輪分子泵的特點的新的分子泵-復合分子泵誕生了。復合分子泵既具有牽引分子泵的高壓縮比也具有渦輪分子泵的大抽速特點，但是在一些特定的場合仍然不能滿足我們的使用要求，比如不能直接抗大氣沖擊等，而且復合分子泵同樣也存在加工多級動靜葉輪工藝復雜，對顆粒物敏感等缺點。

發明內容

針對上述問題，為了克服上述問題，本發明提供一種結構簡單、便于加工、制造成本低、強度大、耐沖擊的一種新型抗沖擊分子泵轉子。

為了完成本申請的發明目的，本發明采用以下技術方案：

本發明的一種新型抗沖擊分子泵轉子，包括轉子主體，其上部外表面設置有多個葉齒的葉輪，下部外表面挖設有多條螺旋槽，轉子主體上部的葉輪通過第一隔離槽和第二隔離槽被分割為三層，從上而下依次為第一葉片、第二葉片和第三葉片，第三葉片葉齒的數目為偶數且為螺旋槽數目的兩倍，第三葉片的葉齒每間隔一個與多條螺旋槽的槽臂相連接。

本發明公開的一種新型抗沖擊分子泵轉子的實施例中，轉子主體內部分為上下兩個中空腔體，上下兩個中空腔體之間設有中間安裝層，中間安裝層中部開有錐形轉軸安裝孔。

本發明公開的一種新型抗沖擊分子泵轉子的實施例中，轉子主體上部直徑小于下部直徑。

本發明公開的一種新型抗沖擊分子泵轉子的實施例中，第一葉片的葉齒數目與第二葉片的葉齒數目相等。

本發明公開的一種新型抗沖擊分子泵轉子的實施例中，第三葉片的葉齒數目為第一和第二葉片的葉齒數目的兩倍。

本發明公開的一種新型抗沖擊分子泵轉子的一個實施例中，第一葉片和第二葉片的葉齒數目為5，第三葉片的葉齒數目為10。

本發明公開的一種新型抗沖擊分子泵轉子的一個實施例中，多條螺旋槽的螺距是變化的，由上而下高度為0-50mm時，所述螺距為350mm，高度為50-90mm時，螺距為350-320mm，高度為90-240mm時，螺距為320-150mm。

本發明公開的一種新型抗沖擊分子泵轉子的一個實施例中，第一葉片、第二葉片和第三葉片的葉齒傾斜度分別為45°、30°和25°。

本發明公開的一種新型抗沖擊分子泵轉子的實施例中，第一葉片、第二葉片和第三葉片的葉齒的設置也成螺旋形，且葉齒根部厚度大于頂部。

本發明公開的一種新型抗沖擊分子泵轉子的實施例中，轉子主體的上端口端面上和外表面靠近下端分別均勻設置有上面動平衡配重孔和下面動平衡配重孔。

有益效果

本發明公開的一種新型抗沖擊分子泵轉子，其有益效果是轉子部分采用整體式加工，扇葉中間的兩個隔離槽將葉輪分為三層，上邊兩層葉齒數目相同，下邊一層在葉齒的中間增加了一組相同的葉齒，數量分別為上邊兩層的兩倍。最下端是變螺距的螺旋槽，起到牽引氣流的作用。這種結構不僅減少了分片式葉齒的加工，省去了動隔離環，簡化了分子泵的結構，而且大大加強了葉齒的強度，提高了葉齒的抗沖擊能力。

附圖說明

圖1為本發明公開的一種新型抗沖擊分子泵轉子的立體圖；

圖2為本發明公開的一種新型抗沖擊分子泵轉子的縱向剖視圖；

圖3為本發明公開的一種新型抗沖擊分子泵轉子的正視圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步詳細描述，但不作為對本發明的限定。