[發明專利]一種MEMS結構及其制作方法

有效

• 申請號: 201510330771.1
• 申請日: 2015-06-15
• 公開（公告）號: CN105174197A
• 公開（公告）日: 2015-12-23
• 發明（設計）人: 程進;陳巧;丁金玲;徐乃濤;孫其梁;謝會開
• 申請（專利權）人: 無錫微奧科技有限公司
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;B81C1/00
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 王美章

1.一種MEMS結構，其特征在于，包括襯底（1）、可控變形部件（3）、被懸掛部件（4），其中，被懸掛部件（4）通過至少一個可控變形部件（3）與襯底（1）連接，還包括設置在所述被懸掛部件（4）上的第一連接部（7）以及設置在所述襯底（1）上的第二連接部（8）。

2.根據權利要求1所述的一種MEMS結構，其特征在于，所述被懸掛部件（4）為鏡面結構、梳齒結構或質量塊結構中的一種。

3.根據權利要求1所述的MEMS結構，其特征在于，所述可控變形部件（3）為兩個，兩個所述可控變形部件（3）對稱設置在所述被懸掛部件（4）的兩側。

4.根據權利要求1所述的一種MEMS結構，其特征在于，所述襯底（1）材料為單晶硅、多晶硅、碳化硅或玻璃材料。

5.一種如權利要求1~4中任一所述MEMS結構的制作方法，其特征在于，包括以下幾個步驟：

步驟一、所述可控變形部件（3）為兩種或兩種以上不同膨脹系數材料疊放而成的結構；通過對整個MEMS結構加熱或制冷來控制可控變形部件（3）的變形，從而改變被懸掛部件（4）的懸掛高度或角度；

步驟二、當步驟一中被懸掛部件（4）的懸掛高度或角度達到設定要求后，通過粘結材料（6）將被懸掛部件（4）上第一連接部（7）與襯底（1）上的第二連接部（8）連接固定。

6.根據權利要求5所述MEMS結構的制作方法，其特征在于，所述粘結材料（6）為UV膠、光刻膠、高分子膠、無機膠、環氧樹脂膠、銀漿、金屬薄膜、非金屬薄膜中的任意一種。

7.根據權利要求6所述MEMS結構的制作方法，其特征在于，通過點膠、噴膠、薄膜生長工藝或者絲網印刷工藝對第一連接部（7）和第二連接部（8）部位進行粘接固定。

8.根據權利要求7所述MEMS結構的制作方法，其特征在于，所述可控變形部件（3）上內嵌有電阻加熱層，所述襯底（1）上連接有電引線（5），所述電阻加熱層與所述電引線（5）連接；通過對加熱引線（5）進行通電，實現對可控變形部件（3）進行微調。

9.根據權利要求8所述MEMS結構的制作方法，其特征在于，所述被懸掛部件（4）上設有磁性材料層或線圈形狀的金屬薄膜層，所述襯底（1）的底部設有磁性驅動器；通過磁性驅動器實現被懸掛部件（4）的高度調節。

10.根據權利要求1~4中任一所述MEMS結構的制作方法，其特征在于，所述被懸掛部件（4）上設有磁性材料層或線圈形狀的金屬薄膜層，所述襯底（1）的底部設有磁性驅動器；通過磁性驅動器實現被懸掛部件（4）的高度調節。