[發(fā)明專利]包含可控制溫度的加工臺的系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造裝置及加工臺的溫度控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510329345.6
• 申請日: 2015-06-15
• 公開（公告）號: CN105225984B
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 廣木勤
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 11287 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 路勇<國際申請>=<國際公布>=<進(jìn)入國

1.一種包含可控制溫度的加工臺的系統(tǒng)，包括：

圓盤狀的平板，其具有載置基板的正面?zhèn)燃氨趁鎮(zhèn)龋?/p>

熱交換器，其以如下方式而構(gòu)成，即，對所述平板的所述背面?zhèn)榷S地排列的多個(gè)區(qū)域、即在所述平板的所述背面?zhèn)确指疃鄠€(gè)區(qū)的各個(gè)而成的該多個(gè)區(qū)域個(gè)別地供給熱交換介質(zhì)，且個(gè)別地回收已供給到該多個(gè)區(qū)域的所述熱交換介質(zhì)；及

多個(gè)閥單元，可針對所述多個(gè)區(qū)的每個(gè)區(qū)控制利用所述熱交換器對所述多個(gè)區(qū)域的所述熱交換介質(zhì)的供給或阻斷；

所述熱交換器包括：

多個(gè)第一管，在所述平板的下方二維地排列，朝所述平板的所述背面?zhèn)认蛏戏窖由?，提供與所述多個(gè)區(qū)域的各個(gè)相對向的開口端；

間隔壁，劃分形成分別包圍所述多個(gè)第一管的多個(gè)空間；及

多個(gè)第二管，以分別連通于所述多個(gè)空間的方式與所述間隔壁連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的包含可控制溫度的加工臺的系統(tǒng)，其中

所述多個(gè)閥單元的各個(gè)

配置在第一熱交換介質(zhì)供給裝置及第二熱交換介質(zhì)供給裝置與所述熱交換器之間，且包括：

共用管線，其具有連接于與同一所述區(qū)相對向的提供所述開口端的所述多個(gè)第一管的一端部及另一端部；

第一管線及第二管線，其連接于所述共用管線的另一端部；

第一熱交換介質(zhì)供給管線，其可連接于所述第一熱交換介質(zhì)供給裝置；

第二熱交換介質(zhì)供給管線，其可連接于所述第二熱交換介質(zhì)供給裝置；

第一閥，配置在所述第一管線與所述第一熱交換介質(zhì)供給管線之間；及

第二閥，配置在所述第二管線與所述第二熱交換介質(zhì)供給管線之間；

所述第一閥及第二閥可相互獨(dú)立地打開及關(guān)閉。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的包含可控制溫度的加工臺的系統(tǒng)，其中

所述第一熱交換介質(zhì)供給裝置供給調(diào)整為第一溫度的所述熱交換介質(zhì)，

所述第二熱交換介質(zhì)供給裝置供給調(diào)整為比所述第一溫度高的第二溫度的所述熱交換介質(zhì)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的包含可控制溫度的加工臺的系統(tǒng)，其中

所述多個(gè)閥單元的各個(gè)構(gòu)成為：能夠?qū)⒄{(diào)整為所述第一溫度的所述熱交換介質(zhì)及調(diào)整為所述第二溫度的所述熱交換介質(zhì)不相互混合地對所述多個(gè)區(qū)域進(jìn)行供給。

5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的包含可控制溫度的加工臺的系統(tǒng)，其以如下方式而構(gòu)成：在所述第一閥打開的情況下，關(guān)閉所述第二閥，在所述第二閥打開的情況下，關(guān)閉所述第一閥。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的包含可控制溫度的加工臺的系統(tǒng)，其中

所述多個(gè)區(qū)在所述平板的背面?zhèn)扔啥鄠€(gè)同心圓劃分邊界，

所述多個(gè)區(qū)域沿所述平板的周向分割所述多個(gè)區(qū)的各個(gè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的包含可控制溫度的加工臺的系統(tǒng)，其中

所述熱交換器對所述平板的背面?zhèn)却怪钡毓┙o所述熱交換介質(zhì)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的包含可控制溫度的加工臺的系統(tǒng)，其中

所述熱交換器以樹脂為主成分而構(gòu)成。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的包含可控制溫度的加工臺的系統(tǒng)，其中

所述多個(gè)第一管的所述開口端包含含有碳的樹脂。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的包含可控制溫度的加工臺的系統(tǒng)，其中

在所述平板的所述背面?zhèn)刃纬芍┧龆鄠€(gè)第一管的所述開口端分別插入的多個(gè)凹部。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的包含可控制溫度的加工臺的系統(tǒng)，其中

所述平板并不具備加熱元件。

12.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的包含可控制溫度的加工臺的系統(tǒng)，其中

連接所述多個(gè)閥單元的各個(gè)與所述熱交換器的流路的長度為2m以下。