[發(fā)明專利]濺射靶材的表面處理方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510324947.2 | 申請日： | 2015-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN106270557A | 公開（公告）日： | 2017-01-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 姚力軍;潘杰;相原俊夫;大巖一彥;王學(xué)澤;胡軍勝 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B23B1/00 | 分類號： | B23B1/00;B23Q11/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227 | 代理人： | 高靜,吳敏 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 濺射 表面 處理 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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