[發明專利]壓電元件、壓電致動器、壓電傳感器、硬盤驅動器、以及噴墨打印裝置有效
| 申請號: | 201510323749.4 | 申請日: | 2015-06-12 |
| 公開(公告)號: | CN105280804B | 公開(公告)日: | 2018-01-02 |
| 發明(設計)人: | 太田龍;佐久間仁志;廣瀬維子 | 申請(專利權)人: | TDK株式會社 |
| 主分類號: | H01L41/08 | 分類號: | H01L41/08;H01L41/09;H01L41/18 |
| 代理公司: | 北京尚誠知識產權代理有限公司11322 | 代理人: | 楊琦 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 壓電 元件 致動器 傳感器 硬盤驅動器 以及 噴墨 打印 裝置 | ||
1.一種壓電元件,其特征在于,
具有下部電極、壓電體層和上部電極,
所述壓電體層由以通式ABO3表示的鈣鈦礦型化合物的鈮酸鉀鈉構成,
所述壓電體層存在于所述下部電極和所述上部電極之間,
所述壓電體層中,X射線衍射圖案(2θ/θ)中的衍射峰的2θ的角度為21.1°≤2θ≤23.4°的范圍內的強度的最大值除以30.1°≤2θ≤33.3°的范圍內的衍射峰的強度所得到的值為0.04以下。
2.如權利要求1所述的壓電元件,其特征在于,
所述下部電極由在{001}面方位取向的導電性物質構成,并且與所述壓電體層相接觸。
3.如權利要求2所述的壓電元件,其特征在于,
所述導電性物質為鉑。
4.一種壓電致動器,其特征在于,
使用權利要求1~3中任一項所述的壓電元件。
5.一種壓電傳感器,其特征在于,
使用權利要求1~3中任一項所述的壓電元件。
6.一種硬盤驅動器,其特征在于,
具備權利要求4所述的壓電致動器。
7.一種噴墨打印裝置,其特征在于,
具備權利要求4所述的壓電致動器。
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