[發明專利]一種用于化學機械拋光超薄柔性顯示襯底的拋光機有效
| 申請號： | 201510322326.0 | 申請日： | 2015-06-13 |
| 公開（公告）號： | CN104924189B | 公開（公告）日： | 2017-01-25 |
| 發明（設計）人： | 蘇建修;王占奎;姚建國;李勇峰;龐子瑞;馬利杰;郭昊;付素芳 | 申請（專利權）人： | 河南科技學院 |
| 主分類號： | B24B29/02 | 分類號： | B24B29/02;B24B57/02;B24B57/00 |
| 代理公司： | 新鄉市平原專利有限責任公司41107 | 代理人： | 呂振安 |
| 地址： | 453003 河南*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 化學 機械拋光 超薄 柔性 顯示 襯底 拋光機 | ||
【說明書】：
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