[發(fā)明專利]一種釩鎢合金靶材及其制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510318834.1
• 申請(qǐng)日: 2015-06-10
• 公開（公告）號(hào): CN104946950A
• 公開（公告）日: 2015-09-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐玄;顧進(jìn)躍;顧偉華;李巧梅;馬輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市威勒達(dá)科技開發(fā)有限公司
• 主分類號(hào): C22C27/02
• 分類號(hào): C22C27/02;C22C1/04;B22F3/115
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種釩鎢合金靶材，其特征在于，由釩粉、鎢粉及粘結(jié)劑制作組成，其中釩粉與鎢粉的質(zhì)量配比為99:1～95:5，所述釩粉與鎢粉的純度大于99.5％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的釩鎢合金靶材，其特征在于，所述粘結(jié)劑的溶質(zhì)為醇酸清漆，溶劑為200#汽油，兩者體積比為1：30～1：10。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的釩鎢合金靶材，其特征在于，所述釩粉粒度為5～150um，所述鎢粉粒度為小于10um。

4.一種如權(quán)利要求1～3所述的釩鎢合金靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)按比例稱取釩粉與鎢粉/三氧化鎢/藍(lán)鎢，并將兩者充分混勻；

(2)將混勻的釩粉和鎢粉加入粘結(jié)劑進(jìn)一步混勻，并處理得到干燥的釩鎢粉與粘結(jié)劑的復(fù)合粉末材料；

(3)將步驟(2)的復(fù)合粉末材料進(jìn)行等離子噴涂操作；

(4)取下噴涂所得的構(gòu)件，并對(duì)所述構(gòu)件進(jìn)行處理得到成品。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的釩鎢合金靶材的制備方法，其特征在于，當(dāng)使用所述步驟(1)的三氧化鎢或藍(lán)鎢時(shí)，還包括將釩粉和三氧化鎢或藍(lán)鎢一起通氫氣還原兩次的步驟，第一次還原溫度在500～600℃，還原時(shí)間為30min～45min，再次還原溫度為700～900℃，還原時(shí)間為30min。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的釩鎢合金靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟(1)的混勻方式為：用滾筒混料機(jī)混勻，其轉(zhuǎn)速為60～100r/min，混勻時(shí)間為0.5～2h。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的釩鎢合金靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟(3)的等離子噴涂操作采用真空等離子噴涂系統(tǒng)進(jìn)行操作，系統(tǒng)真空室內(nèi)溫度為10～80℃，氧含量0～600ppm，壓力為100～125個(gè)kPa，噴涂距離100～300mm，噴涂功率60～80kW，轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速為300～500r/min，送粉速率為3～7kg/h,噴槍移動(dòng)速率為70～150mm/s，噴涂角度為60°～90°，單次連續(xù)噴涂時(shí)間為30～60min，所述等離子噴涂系統(tǒng)的芯模材料采用圓柱形石墨芯模，噴涂厚度為5～100mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的礬鎢合金靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟(4)的處理方式為：對(duì)所述構(gòu)件采用真空中頻感應(yīng)燒結(jié)爐進(jìn)行燒結(jié)處理，之后進(jìn)行機(jī)械打磨和超聲波清洗。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的礬鎢合金靶材的制備方法，其特征在于，所述燒結(jié)處理的升溫速率為10～20℃/min，燒結(jié)溫度為20～1500℃，整體燒結(jié)時(shí)間為2～15h。