[發明專利]一種IC光檢分選系統的雙盤輸送機構

有效

• 申請號: 201510316802.8
• 申請日: 2015-06-11
• 公開（公告）號: CN104973425B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發明（設計）人: 劉福軍;江超;徐志偉;韓笑
• 申請（專利權）人: 杭州長川科技股份有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07;B65G47/74;H01L21/677
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司33109
• 代理人: 尉偉敏

技術領域

本發明涉及一種輸送機構，尤其涉及一種采用雙料盤輸送，且輸送過程料盤定位精度高，從而在提高了檢測效率的同時又保證了檢測精度的IC光檢分選系統的雙盤輸送機構。

背景技術

在實際生產過程中由于產品不良率以及原材料的缺陷，批量生產的IC（集成電路）也必然存在不良個體，因此測試在IC制造中不可缺少。作為測試中流程之一，IC光檢分選系統具有很高的UPH（單位人時產能）需求，這就要求IC光檢分選系統在整個系統的上、下工序間時間銜接緊湊，動作執行高效。但現有的IC光檢分選系統通常采用單料盤輸送形式，且料盤在輸送過程中無法有效定位，因此不僅輸送效率比較低，從而影響檢測效率，同時檢測精度無法保證。

中國專利公開了一種半導體制造用自動化物料運輸系統（CN200510111678.8），包括至少一個儲料箱，每個儲料箱至少包含一個儲料單元；以及輸送機構，所述輸送機構其至少包括一個在屋頂的軌道上運行的空中運輸車，所述空中運輸車至少包含一個機械臂，所述機械臂從選擇的儲料單元中拾取至少一組物料，并隨后輸送到預定位置，所述儲料箱的高度為屋頂到地板距離的三分之一到二分之一。雖然該技術方案具有節省FAB內立體空間，從而為其它設備的擺放提供了空間，方便操作人員在工位之間的移動，且儲料箱自身也便于移動等特點，但此結構無法適用于IC光檢分選系統的料盤輸送。

發明內容

本發明主要是提供了一種采用雙料盤輸送，且輸送過程料盤定位精度高，從而在提高了檢測效率的同時又保證了檢測精度的IC光檢分選系統的雙盤輸送機構，解決了現有技術中存在的料盤輸送效率低，影響檢測效率，同時料盤在輸送過程中無法有效定位，使檢測精度無法保證等技術問題。

本發明的上述技術問題主要是通過下述技術方案得以解決的：一種IC光檢分選系統的雙盤輸送機構，包括支撐平臺及平行設置在支撐平臺上的左料盤軌道和右料盤軌道，在所述左料盤軌道和右料盤軌道間橫設兩個料盤，在左料盤軌道和右料盤軌道間對應的支撐平臺設有料盤驅動機構，料盤在驅動機構的帶動下沿左料盤軌道和右料盤軌道滑動，且在驅動機構上設有鎖定料盤的料盤鎖定機構。沿左、右料盤軌道的長度方向依次設置上料工位、IC光檢工位和料盤轉運工位，通過在左、右料盤軌道間橫設兩個料盤，其中的一個料盤與料盤上料工位對應，配合IC光檢分選系統的上料機構，另一個料盤與IC光檢工位對應，配合IC光檢分選系統的光檢裝置，使用時，驅動機構驅動料盤沿左、右料盤軌道滑動至料盤上料工位和IC光檢工位，并通過料盤鎖定機構將料盤鎖定，配合機構外對應的光檢裝置步進，料盤相對光檢裝置定位準確，與此同時，機構外對應的上料機構動作，將下一個料盤放在料盤上料工位對應的料盤位置上并通過料盤鎖定機構將料盤鎖定等待。當料盤上的IC完成光檢后，驅動機構驅動料盤進至料盤轉運工位，通過料盤鎖定機構將料盤解鎖，配合機構外對應的轉運機構取走料盤，與此同時，驅動機構又驅動料盤行進至IC光檢工位，并配合光檢裝置步進，在料盤鎖定機構的作用下，料盤相對光檢裝置定位準確。上料機構動作，將下一個料盤安放在料盤上料工位上，與此同時，驅動機構驅動料盤退回到料盤上料工位料盤鎖定機構鎖定料盤并等待，上述動作往復交替，檢測效率高，輸送過程料盤通過料盤鎖定機構精確定位，定位精度高，從而保證了檢測精度。

作為優選，在與所述料盤對應的左料盤軌道和右料盤軌道上分別設有料盤下壓機構，料盤下壓機構包括沿長度方向轉動連接在左料盤軌道或右料盤軌道上表面的擺動桿，在擺動桿的后端部與左料盤軌道或右料盤軌道間設有壓力彈簧，在擺動桿后端的內側面上設有下壓輪轉軸，在下壓輪轉軸轉動連接著可滾動壓接在料盤邊沿上的下壓輪。通過在左、右料盤軌道上對稱設置下壓機構，通過下壓機構上的下壓輪動壓接在料盤的邊沿上，避免料盤上、下跳動，提高料盤轉運過程中的穩定性；下壓機構結構簡單，運行可靠。

也可以將側頂機構設置在右料盤軌道對應的料盤下壓機構上，作為更優選，在所述左料盤軌道對應的料盤下壓機構上設有側頂機構，側頂機構包括沿長度方向轉動連接在左料盤軌道內側面的側頂擺桿，在側頂擺桿前端轉動連接著可滾動頂接在料盤側面的側頂輪，且在側頂擺桿與左料盤軌道間設有可水平頂置側頂輪向左料盤軌道內側擺動的側頂壓力彈簧。通過在左料盤軌道或右料盤軌道上對應的料盤下壓機構上設置側頂機構沿水平方向單向頂壓料盤，避免料盤出現左、右晃動，提高料盤轉運過程中的穩定性。