[發明專利]流體控制測量系統的供電裝置

有效

• 申請號: 201510314410.8
• 申請日: 2015-06-10
• 公開（公告）號: CN105320159B
• 公開（公告）日: 2019-11-15
• 發明（設計）人: 瀧尻興太郎;高倉洋;大江健一
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: G05D7/06
• 分類號: G05D7/06
• 代理公司: 11290 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 鹿屹;李雪春<國際申請>=<國際公布>=

本發明提供一種流體控制測量系統的供電裝置。為了防止管理多個流量控制裝置(101)的供電裝置(102)的電源裝置大型化，在控制流體流量的多個流量控制裝置(101)上分別連接電纜，通過該電纜(8)管理各流量控制裝置(101)的動作并向各流量控制裝置(101)供電，其中，供電裝置具有供電控制部(10)，該供電控制部(10)使針對至少一部分流量控制裝置(101)的供電開始時機偏移。

技術領域

本發明涉及一種流體控制測量系統的供電裝置，所述流體控制測量系統例如用于控制在半導體制造工序中使用的材料氣體、藥液和清洗液等流體的流量。

背景技術

例如在半導體制造工序那樣使用多種氣體時，在每個氣體管道上都設置有流量控制裝置，以便控制各氣體的流量。此外，由于對上述流量控制裝置小型化的需求不斷提高，所以不將電源裝置組裝于流量控制裝置而采用如下方式：通過通信電纜從統一管理各流道控制裝置的供電裝置供電。

一般來說，在啟動時，比通常運轉時更大的沖擊電流流經供電線，所以需要將針對電流容量具有余量的較大型的電源裝置安裝于供電裝置。

但是，如果流量控制裝置的數量增多，則整體的沖擊電流也相應地變大，從而導致電源裝置大型化。并且，由于例如在半導體工序系統中還要求供電裝置小型化，所以如果供電裝置的電源大型化，則產生不能滿足上述要求的不利情況。

專利文獻1：國際公開公報WO2008/069227號。

發明內容

鑒于上述問題，本發明的目的在于提供一種流體控制測量系統的供電裝置，能夠防止管理多個流體設備的供電裝置的電源裝置大型化。

即，本發明的供電裝置在通過電連接線分別與控制或測量流體的多個流體設備連接的情況下，通過所述電連接線所包含的供電線向各所述流體設備供電，并且從電源向與所述供電線分開地包含于所述電連接線的斷接監視用線供電，其中，所述供電裝置包括供電控制部，所述供電控制部使針對至少一部分流體設備的供電開始時機偏移，所述供電控制部包括：供斷電部，使針對各所述流體設備的供電通斷；以及電連接線斷接監視部，在向各所述流體設備供電之后，通過判斷在所述斷接監視用線中是否有電流流動，從而對連接所述電源和各所述流體設備的電連接線的斷接分別進行監視，所述電連接線斷接監視部在檢測到所述電源與所述流體設備的切斷的情況下，向所述供斷電部發送通斷控制信號，從而停止向檢測出切斷的電連接線的供電線供電。

此外，優選的是，所述電連接線斷接監視部在停止供電之后檢測到所述電源與所述流體設備的連接的情況下，向所述供斷電部發送通斷控制信號，從而向檢測出連接的電連接線的供電線供電。

按照這種結構，由于供電控制部使針對至少一部分流體設備的供電開始時機偏移，所以例如能夠使啟動時從供電裝置的電源流入各流體設備的沖擊電流在時間上分散。因此，不需要像以往那樣根據流體設備的數量使電源的電流容量變大，可以通過使供電裝置側的電源大幅度地小型化，從而使供電裝置小型化、輕量化。

此外，按照這種結構，可以使供電控制部向多個電連接線中的與流體設備連接的電連接線可靠地供電。

在此，在與流體設備切斷的電纜上產生電壓時，如果使上述電纜與流體設備連接，則連接時向流體設備作用有因LC諧振等產生的過電流或過電壓，有可能導致流體設備破損。

為了防止因電纜的誤插拔或斷線導致的破損，優選的是，所述電連接線斷接監視部向所述供斷電部發送通斷控制信號，停止向檢測出切斷的電連接線的供電線供電。

按照上述結構，由于與流體設備切斷的電纜的供電線上不產生電壓，所以即使上述電纜與流體設備連接，也可以抑制流體設備的過電流或過電壓，從而可以使流體設備不容易破損。

此外，即使切斷的電纜上附著有污物或塵埃等，并且使切斷的電纜錯誤地與端子連接，由于在上述電纜的供電線上不產生電壓，所以能夠防止短路、過電流和過電壓等。